放置設備並編輯路線航點

在晶圓廠場景中移動、旋轉及移除設備配置,然後新增及移動路線航點。

開啟配置控制項

這些步驟適用於 Cloud 和 Windows 2.1.2.3。從產品選單選取 vFactory → 晶圓製程與晶圓廠。選取 製程模型,在 模型 中選擇 晶圓廠模擬,然後選取 實尺寸晶圓廠場景(預覽)。在場景工具列中選取 2D 地圖 並開啟 晶圓廠設定。

放置及移動設備

  1. 在 設備槽位 中選取製程槽位。若槽位尚未放置,請在 選取 中選取 放置到場景。

  2. 在 2D 平面圖中拖曳已放置的設備,使其在貼齊格線上移動。若要以數值定位,請編輯 選取 中的 東 (X) 和 北 (Y);這些座標的單位為公尺。

  3. 將焦點置於場景視埠時,按方向鍵可依貼齊格線移動所選項目。按住 Shift 並按方向鍵可移動 10 mm。

旋轉或移除配置

  1. 選取已放置的設備並編輯 旋轉,或選取 順時針旋轉 90° 或 逆時針旋轉 90°。

  2. 選取 移除放置,使該設備的製程槽位返回未放置狀態。在 設備槽位 中選取該槽位,再選擇 放置到場景 即可重新放置。

  3. 使用 復原場景編輯 或 重做場景編輯 逐步瀏覽場景編輯。

編輯路線航點

  1. 展開 路線 並選擇 路線。對於連接兩個已放置設備群組的路段,選取 新增途經點。

  2. 在 2D 平面圖中拖曳航點標記,或將焦點置於視埠,使用方向鍵移動選取的航點。

  3. 在 路線 中選取航點按鈕,然後在 選取 中選取 移除途經點 以移除該航點。

編輯設備和航點後,請儲存場景。