장비 배치 및 경로 경유점 편집하기

팹 장면에서 장비 배치를 이동, 회전, 제거한 다음 경로 경유점을 추가하고 이동하세요.

배치 컨트롤 열기

이 절차는 Cloud와 Windows 2.1.2.3에 적용됩니다. 제품 메뉴에서 vFactory → 웨이퍼 공정 및 팹 항목을 선택하세요. 공정 모델 항목을 선택하고 모델에서 팹 시뮬레이션 항목을 선택한 다음 실척 팹 장면 (미리 보기) 항목을 선택하세요. 장면 도구 모음에서 2D 지도 항목을 선택하고 팹 설정 항목을 여세요.

장비 배치 및 이동하기

  1. 설비 슬롯에서 공정 슬롯을 선택하세요. 배치되지 않은 슬롯은 선택에서 장면에 배치 항목을 선택하세요.

  2. 2D 평면도에서 배치된 장비를 드래그해 스냅 그리드에 맞춰 이동하세요. 수치로 위치를 지정하려면 선택에서 동쪽 (X)와 북쪽 (Y) 값을 편집하세요. 이 좌표는 미터 단위를 사용합니다.

  3. 장면 뷰포트에 포커스가 있을 때 화살표 키를 눌러 선택 항목을 스냅 그리드 간격으로 이동하세요. Shift 키를 누른 채 화살표 키를 누르면 10 mm씩 이동합니다.

배치 회전 또는 제거하기

  1. 배치된 장비를 선택하고 회전 값을 편집하거나 시계 방향으로 90° 회전 또는 반시계 방향으로 90° 회전 항목을 선택하세요.

  2. 배치 제거 항목을 선택하면 해당 장비의 공정 슬롯이 배치되지 않은 상태로 돌아갑니다. 다시 배치하려면 설비 슬롯에서 해당 슬롯을 선택하고 장면에 배치 항목을 선택하세요.

  3. 장면 편집 실행 취소 또는 장면 편집 다시 실행 항목으로 장면 편집을 순서대로 실행 취소하거나 다시 실행하세요.

경로 경유점 편집하기

  1. 라우트 항목을 펼치고 라우트 항목을 선택하세요. 배치된 두 장비 그룹을 연결하는 구간에서 경유점 추가 항목을 선택하세요.

  2. 2D 평면도에서 경유점 마커를 드래그하거나 뷰포트에 포커스를 두고 화살표 키로 선택한 경유점을 이동하세요.

  3. 라우트에서 경유점 버튼을 선택한 다음 선택에서 경유점 제거 항목을 선택해 해당 경유점을 제거하세요.

장비와 경유점을 편집한 후 장면을 저장하세요.