放置设备并编辑路线途经点

打开放置控件

这些步骤适用于 Cloud 和 Windows 2.1.2.3。从产品菜单中选择 vFactory → 晶圆工艺与晶圆厂。选择 工艺模型，在 模型 中选择 晶圆厂仿真，然后选择 按比例晶圆厂场景（预览）。在场景工具栏中选择 2D 平面图 并打开 晶圆厂设置。

放置及移动设备

1. 在 设备槽位 中选择工艺槽位。如果槽位尚未放置，请在 选择 中选择 放置到场景。

2. 在 2D 平面图中拖动已放置的设备，使其在吸附网格上移动。如需使用数值定位，请编辑 选择 中的 东 (X) 和 北 (Y)；这些坐标的单位为米。

3. 将焦点置于场景视口时，按方向键可按吸附网格移动所选项。按住 Shift 并按方向键可移动 10 mm。

旋转或移除放置项

1. 选择已放置的设备并编辑 旋转，或选择 顺时针旋转 90° 或 逆时针旋转 90°。

2. 选择 移除放置项，使该设备的工艺槽位返回未放置状态。在 设备槽位 中选择该槽位，再选择 放置到场景 即可重新放置。

3. 使用 撤销场景编辑 或 重做场景编辑 逐步浏览场景编辑。

编辑路线途经点

1. 展开 路径 并选择 路径。对于连接两个已放置设备组的路段，选择 添加路径点。

2. 在 2D 平面图中拖动途经点标记，或将焦点置于视口，使用方向键移动所选途经点。

3. 在 路径 中选择途经点按钮，然后在 选择 中选择 移除路径点 以移除该途经点。

编辑设备和途经点后，请保存场景。