EUV प्रकाशिकी और फ़ोटॉन संतुलन की गणना करें
Cloud 2.1.2.10 या Windows 2.1.2.3 की EUV गणना में मॉडल के इनपुट और परिणामों की तुलना करें।
गणना चलाएँ
vFactory में EUV गणना खोलें और स्रोत प्रीसेट चुनें।
Mo/Si बहुपरत + Ru आवरण, डोज़ और स्कैन की धारणाएँ और फ़ोटॉन संबंधी धारणाएँ की समीक्षा करें। हर मान दिखाई गई सीमा में रखें।
EUV की गणना करें चुनें।
बहुपरत इनपुट परावर्तनशीलता मॉडल परिभाषित करते हैं। गणना के बाद समतलीय प्रकाशिक प्रतिक्रिया s ध्रुवण और p ध्रुवण की परावर्तनशीलता को तरंगदैर्ध्य के विरुद्ध आलेखित करती है।
परिणाम पढ़ें
प्रकाश संतुलन प्रत्येक चरण की शक्ति, डोज़, स्कैन गति और प्रति घंटे वेफ़र दिखाता है।
समतलीय प्रकाशिक प्रतिक्रिया तरंगदैर्ध्य और कोण के अनुसार s और p परावर्तनशीलता, तथा 13.5 nm पर R / T / A दिखाता है। सटीक मानों के लिए तरंगदैर्ध्य डेटा तालिका या कोण डेटा तालिका खोलें।
फ़ोटॉन संतुलन और शोर फ़ोटॉन ऊर्जा, औसत गणना और आदर्श प्वासों प्रसरण दिखाता है। परिणामों के साथ स्रोत और धारणाएँ की समीक्षा करें।
फ़ोटॉन संतुलन और शोर 13.5 nm पर आपतित और अवशोषित फ़ोटॉन संख्या की तुलना उनकी आदर्श प्वासों प्रसरण से करता है।
ये धारणाओं पर आधारित मॉडल परिणाम हैं, मापी गई उपकरण उत्पादकता या वास्तविक फ़ैब के पूर्वानुमान नहीं। तरंगदैर्ध्य स्वीप में 13.5 nm के प्रकाशिक सूचकांक स्थिर रहते हैं; आदर्श प्वासों सांख्यिकी रेज़िस्ट दोषों या यील्ड का पूर्वानुमान नहीं देती।