लिंक की गई DUV प्रक्रिया चलाएँ और सहेजें
वेफ़र चरणों को फैब उपकरणों से कनेक्ट करें, DUV खंड चलाएँ और फ़्लो स्थानीय रूप से या चयनित प्रोजेक्ट में सहेजें। ये चरण Cloud 2.1.2.10 और Windows 2.1.2.3 पर लागू होते हैं।
DUV कार्यक्षेत्र खोलें
vFactory में प्रक्रिया मॉडल चुनें, फिर DUV प्रक्रिया लिंक चुनें।
Cloud पर वेफ़र रेसिपी और फैब उपकरण इनपुट बदलने के लिए फ़ॉर्म में संबद्ध मॉडल इनपुट बदलें का विस्तार करें। Windows पर इन फ़ॉर्म के लिए पहले उन्नत इनपुट अनुभाग का विस्तार करें।
Cloud पर JSON संपादन के लिए संबद्ध मॉडल इनपुट JSON में बदलें का विस्तार करें। Windows पर मॉडल इनपुट डेटा वाले निचले उन्नत इनपुट अनुभाग का विस्तार करें। JSON संपादित करें और मॉडल इनपुट लागू करें चुनें। संपादन योग्य फ़ील्ड wafer, fab, mapping, waferId, lotId और routeId हैं।
खंड चलाएँ और जाँचें
वेफ़र और फैब मॉडल की गणना करने के लिए DUV खंड चलाएँ चुनें। निष्पादन के दौरान रोकने के लिए DUV खंड रद्द करें चुनें।
गणना पूर्ण दिखाई देने पर DUV stage mapping में कोई चरण चुनें और वास्तविक माप वाले फैब दृश्य में उसके उपकरण, समय-सारणी और गणना की गई प्रोफ़ाइल की जाँच करें।
चयनित चरण तथा वेफ़र और फैब इंजन की पहचान की जाँच के लिए प्रक्रिया निष्पादन की उत्पत्ति का विस्तार करें।
स्थानीय फ़ाइलें सहेजें और खोलें
और क्रियाएँ > DUV प्रवाह फ़ाइल सहेजें खोलें। Cloud और Windows दोनों में इससे duv-flow.alcad-duv-fab.json नाम का डाउनलोड शुरू होता है।
और क्रियाएँ > DUV प्रवाह फ़ाइल खोलें चुनें और सहेजा गया JSON फ़्लो चुनें। यदि वर्तमान फ़्लो में ऐसे बदलाव हैं जिनके लिए फ़ाइल सहेजने की पुष्टि नहीं हुई है, तो Replace DUV flow या Keep current DUV flow चुनें।
वास्तविक माप वाला दृश्य कनेक्ट करने के लिए और क्रियाएँ > वास्तविक माप वाला दृश्य जोड़ें चुनें और उसकी दृश्य JSON फ़ाइल चुनें।
प्रोजेक्ट फ़ाइलें सहेजें और खोलें
सक्रिय फ़ाइल सत्र और उसकी फ़ाइलें सहेजने की अनुमति वाले चयनित प्रोजेक्ट का उपयोग करें। Cloud पर सहेजने से पहले प्रोजेक्ट रनटाइम रोकें। प्रोजेक्ट संचालन प्रोजेक्ट, सत्र और स्रोत संशोधन की जाँच करते हैं।
DUV प्रवाह को प्रोजेक्ट फ़ाइल के रूप में सहेजें चुनें, नया प्रोजेक्ट दस्तावेज़ फ़ाइल का नाम दर्ज करें, जैसे duv-flow.alcad-fab-scene.json, और प्रोजेक्ट डॉक्युमेंट सेव करें चुनें।
प्रोजेक्ट से DUV प्रवाह खोलें चुनें, प्रोजेक्ट दस्तावेज़ चुनें और प्रोजेक्ट डॉक्युमेंट खोलें चुनें। यदि ड्राफ़्ट में बिना सहेजे बदलाव हैं, तो खोलने से पहले इस फ़ाइल के साथ वर्तमान असंरक्षित ड्राफ़्ट बदलें। चुनें।
प्रोजेक्ट फ़ाइल खोलने या सहेजने के बाद उसे अपडेट करने के लिए प्रोजेक्ट में DUV प्रवाह सहेजें चुनें। नए फ़्लो के लिए यह नियंत्रण फ़ाइल नाम संवाद खोलता है। दूसरी फ़ाइल बनाने के लिए अलग फ़ाइल नाम के साथ DUV प्रवाह को प्रोजेक्ट फ़ाइल के रूप में सहेजें का उपयोग करें।
सहेजने की पुष्टि की प्रतीक्षा करें। एप्लिकेशन प्रतिस्थापन से पहले मौजूदा फ़ाइल संस्करण की जाँच करता है और सत्यापन के लिए सहेजी गई सामग्री दोबारा पढ़ता है।