डिज़ाइन से वेफ़र तक के इनपुट
स्रोत पैकेज फ़ील्ड, संख्यात्मक इनपुट सीमाएँ और बैकएंड JSON मान देखें।
यह संदर्भ Cloud 2.1.2.10 और Windows 2.1.2.3 में vFactory पर लागू होता है।
डिज़ाइन से वेफ़र तक में इन मानों का उपयोग करें। संख्यात्मक इनपुट में परिमित संख्याएँ और लॉट तथा वेफ़र की गणना में पूर्णांक उपयोग होते हैं।
स्रोत पैकेज
DDS / निर्माण हेतु अंतिम डिज़ाइन का स्रोत आयात करें अधिकतम 1 MiB (1048576 बाइट) की JSON फ़ाइल स्वीकार करता है: सीरियलाइज़ किया हुआ DesignToWaferInput या {source: DesignSource}। केवल स्रोत वाला पैकेज डिफ़ॉल्ट मान्यताओं का उपयोग करता है। सत्यापित इनपुट कैनोनिकल JSON के 32768 बाइट में समाता है।
DesignSource में projectId, gdsPath, inputSha256, structure और boundsM होते हैं। .gds या .gdsii होस्ट पथ, 64 वर्णों का लोअरकेस हेक्साडेसिमल SHA-256 और धनात्मक चौड़ाई तथा ऊँचाई वाली मीटर में सीमाएँ [minX, minY, maxX, maxY] उपयोग करें। ज्यामिति पूर्णांक नैनोमीटर ग्रिड का उपयोग करती है।
Cloud में डाई के प्रत्येक किनारे के लिए 1.5 से 20 mm स्वीकार हैं और संदर्भ फ़ैब मार्ग में logic-a तथा logic-b मिलते हैं, जिसमें logic-a डिफ़ॉल्ट रूप से चुना होता है। Windows में logic-a उपयोग होता है।
संख्यात्मक मान
अंतिम लॉट रिलीज़ समय, (lot count − 1) × release interval, अधिकतम 31536000 सेकंड स्वीकार है। पूर्वावलोकन गणना और निष्पादन के दौरान ज्यामिति और व्युत्पन्न मान सत्यापित किए जाते हैं।
इनपुट | स्वीकृत मान |
|---|---|
कटाई मार्ग की चौड़ाई (µm) | 0–10000 |
किनारा बहिष्करण (mm) | 0 ≤ मान < 150 |
उपयोगकर्ता D0 (दोष/cm²) · धारणा | 0–1000000 |
समूहन गुणांक α | 0 < मान ≤ 1000000 |
लॉट की संख्या | 1–50 |
प्रति लॉट वेफ़र | 1–1000 |
लॉट जारी करने का अंतराल (s) | 0–31536000 |
ISO वर्ग · धारणा | 1–9, भिन्नात्मक मान सहित |
सीमा व्यास D (µm) | 0.1–5 |
अधोप्रवाह (m/s), अवसादन गति (m/s), अनावरण (s) | 0–9007199254740991 |
निक्षेपण अंश (0–1), घातक दोष अंश (0–1) | 0–1 |
बैकएंड JSON
अंतिम निर्माण चरणों का JSON आयात करें स्कीमा altifigence.vfactory-backend/v1, एक name और steps स्वीकार करता है। अलग-अलग नाम वाले 1–32 चरण दें, प्रत्येक में name और durationS हो। हर अवधि और उनका योग 0 से 31536000 सेकंड तक स्वीकार है। मॉडल और चरण के नामों में 1–256 वर्ण होते हैं, आरंभ और अंत में रिक्त स्थान तथा ASCII नियंत्रण वर्ण शामिल नहीं होने चाहिए।
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संदर्भ फ़ैब के लेआउट, प्रक्रिया डेटा और परिणाम उदाहरण की मान्यताओं का उपयोग करते हैं।