DUV चरण रोकें और फिर से शुरू करें
प्रत्येक पूर्ण समतलीय DUV चरण के बाद चेकपॉइंट बनाएँ, चरण की सीमा पर रुकें और अगले चरण से जारी रखें। ये चरण Cloud 2.1.2.10 और Windows 2.1.2.3 पर लागू होते हैं।
चरणबद्ध रन शुरू करें
vFactory में प्रक्रिया मॉडल खोलें, फिर DUV प्रक्रिया लिंक चुनें।
निक्षेपण, विसरण, तापीय रैंप या एचिंग चरणों वाले समतलीय फ़्लो का उपयोग करें। और क्रियाएँ खोलें और चरण जाँच बिंदुओं के साथ चलाएँ चुनें। चेकपॉइंट प्रत्येक पूर्ण चरण को रिकॉर्ड करता है।
रोकें और जारी रखें
Cloud पर चल रही प्रगति के पास इस चरण के बाद रोकें चुनें। Windows पर और क्रियाएँ खोलें और इस चरण के बाद रोकें चुनें।
वर्तमान चरण पूरा होने की प्रतीक्षा करें। सुरक्षित रखा गया चेकपॉइंट पूर्ण चरण की पहचान करता है।
और क्रियाएँ खोलें और सुरक्षित रखी गई प्रोफ़ाइल तथा बीते समय का उपयोग करके अगले अधूरे चरण से जारी रखने के लिए अगला चरण फिर शुरू करें चुनें।
चेकपॉइंट बनाए रखें
रन के दौरान DUV खंड रद्द करें निष्पादन रोकता है और पूर्ण चेकपॉइंट बनाए रखता है। और क्रियाएँ > DUV प्रवाह फ़ाइल सहेजें चेकपॉइंट को फ़्लो फ़ाइल में शामिल करता है।
फिर से शुरू करने के लिए वेफ़र और फैब इनपुट, चरण मैपिंग तथा वेफ़र, लॉट और रूट पहचानकर्ता अपरिवर्तित रखें। जारी रखने से पहले एप्लिकेशन चेकपॉइंट के इनपुट और परिणाम हैश तथा इंजन पहचान की जाँच करता है।