vFactory में अपना पहला प्रक्रिया मॉडल चलाएँ

प्रक्रिया मॉडल खोलें, उदाहरण इनपुट जाँचें, मॉडल चलाएँ और परिणाम पढ़ें।

प्रक्रिया मॉडल एक उदाहरण वेफ़र प्रक्रिया के साथ खुलता है। इसके इनपुट जाँचें, इसे चलाएँ और गणना किया गया परिणाम पढ़ें।

प्रक्रिया मॉडल खोलें

  1. उत्पाद मेनू खोलें और vFactory चुनें, फिर वेफ़र प्रक्रिया और फ़ैब चुनें।

  2. प्रक्रिया मॉडल टैब चुनें।

  3. मॉडल में वेफ़र प्रक्रिया ही रहने दें। फ़ॉर्म समतल परत का उदाहरण के इनपुट से शुरू होता है।

इनपुट जाँचें

  1. सामग्री गुणांक, सतह से शुरुआती परतें और प्रक्रिया क्रम देखें।

  2. उदाहरण क्रम में तीन चरण हैं: डोप की गई पतली परत जमा करें, परतों का तापानुशीतन करें और चयनात्मक फ़िल्म नक़्क़ाशी।

  3. इकाइयाँ और मॉडल का दायरा पढ़ने के लिए मॉडल की धारणाएँ और इकाइयाँ खोलें।

"प्रक्रिया मॉडल" टैब, जिसमें "मॉडल" "वेफ़र प्रक्रिया" पर सेट है। "मॉडल की धारणाएँ और इकाइयाँ" खुला है, उसके बाद substrate और film के लिए "सामग्री गुणांक", "सतह से शुरुआती परतें" और "प्रक्रिया क्रम" की शुरुआत है। परिणाम पैनल में लिखा है कि अभी कोई परिकलित परिणाम नहीं है।

पहली बार चलाने से पहले उदाहरण की धारणाएँ और इकाइयाँ, सामग्री गुणांक और शुरुआती परतें देखें। अभी कोई परिणाम नहीं दिखता।

मॉडल चलाएँ

  1. टूलबार में सिमुलेशन चलाएँ (प्ले बटन) चुनें।

  2. मॉडल चलते समय स्थिति में मॉडल की गणना हो रही है… दिखता है। चलना रोकने के लिए सिमुलेशन रद्द करें चुनें।

  3. जब स्थिति में गणना पूर्ण दिखे, तो इनपुट के पास परिणाम दिखता है, जिसमें सांद्रता का लघुगणक और प्रक्रिया चरण जाँचें शामिल हैं।

चलाने के बाद "प्रक्रिया मॉडल"। स्थिति पट्टी में "गणना पूर्ण" दिखता है, और प्रक्रिया निष्पादन उद्गम इस रन को पूर्ण दिखाता है। परिकलित परिणाम में "3. चयनात्मक फ़िल्म नक़्क़ाशी" चरण की मोटाई, डोज़ और सेल संख्या, गहराई के अनुसार सांद्रता का चार्ट, और प्रक्रिया इतिहास और संरक्षण तालिका दिखती है।

"गणना पूर्ण" के बाद परिणाम में चयनित प्रक्रिया चरण, गहराई के अनुसार सांद्रता प्रोफ़ाइल और प्रक्रिया इतिहास दिखता है। प्रक्रिया निष्पादन उद्गम इस रन को पूर्ण दिखाता है।

अगर आप चलाने के बाद कोई इनपुट बदलते हैं, तो स्थिति में इनपुट बदले हैं दिखता है। परिणाम अपडेट करने के लिए सिमुलेशन चलाएँ फिर से चुनें।

इनपुट बदलने के बाद "प्रक्रिया मॉडल"। "इनपुट बदले हैं" बैनर बताता है कि दिखाया गया परिणाम पिछले इनपुट का है और उसे ताज़ा करने के लिए अद्यतन मॉडल चलाना चाहिए। विसरण चरण "परतों का तापानुशीतन करें" की अवधि (s) अब 60 है, और पिछला परिणाम दाईं ओर बना रहता है।

"इनपुट बदले हैं" बैनर बताता है कि जब तक आप मॉडल दोबारा नहीं चलाते, दाईं ओर का परिणाम पिछले इनपुट का है।

अगर चलना पूरा नहीं होता

सिमुलेशन पूरा नहीं हुआ समस्या बताने वाले संदेश के साथ दिखता है। संदेश के निर्देशों का पालन करें, फिर मॉडल फिर से चलाएँ।

जब कोई रन या प्रोजेक्ट फ़ाइल का काम चल रहा हो, तब सिमुलेशन चलाएँ उपलब्ध नहीं होता।

जब प्रोजेक्ट की फ़ाइलें उपलब्ध नहीं हों, तो सिमुलेशन चलाएँ का उपयोग नहीं किया जा सकता। प्रोजेक्ट को फिर से कनेक्ट करें, फिर मॉडल चलाएँ।

अगर परियोजना बदल गई दिखे, तो उसके संदेश का पालन करें: इस परियोजना का प्रक्रिया दस्तावेज़ खोलें या नया बनाएँ।

इनपुट और परिणाम सहेजें

  1. इनपुट सहेजें मौजूदा इनपुट को JSON फ़ाइल के रूप में सहेजता है।

  2. परिणाम निर्यात करें किसी रन के बाद उपलब्ध होता है और इनपुट को परिणाम के साथ सहेजता है।

  3. इसके बाद फ़ैब मॉडल आज़माने के लिए मॉडल में फैब सिमुलेशन चुनें। यह पुनः प्रवेश वाले फैब का उदाहरण के इनपुट से शुरू होता है।

vFactory उपयोग करें: फ़ैब देखें और डिज़ाइन से वेफ़र तक जाएँ

उदाहरण इनपुट कृत्रिम मान्यताओं पर आधारित हैं। परिणाम दिए गए मॉडल के सिमुलेशन हैं, मापा गया उत्पादन डेटा नहीं।