EUV क्लिप पैरामीटर
स्थानीय EUV इमेजिंग के लिए क्लिप योजना के डिफ़ॉल्ट और ऑप्टिकल अनुरोध मान देखें।
यह संदर्भ Cloud 2.1.2.10 और Windows 2.1.2.3 में vFactory पर लागू होता है।
EUV क्लिप आयातित GDS ज्यामिति की स्थानीय इमेजिंग सेट करता है। ज्यामिति और कट मास्क nm का उपयोग करते हैं। स्थानीय इमेजिंग के लिए स्पष्ट ऑप्टिक्स दें।
क्लिप योजना
योजनाकार हेलो को पूर्ण रास्टर अंतराल तक ऊपर की ओर पूर्णांकित करता है। एक रन में अधिकतम 64 टाइल स्वीकार हैं।
फ़ील्ड | आयात के बाद प्रारंभिक मान |
|---|---|
परत और डेटा प्रकार | पहले आयातित बहुभुज की परत। |
क्षेत्र X (मास्क nm), क्षेत्र Y (मास्क nm) | पहले आयातित बहुभुज के न्यूनतम X और Y। |
क्षेत्र की चौड़ाई (मास्क nm), क्षेत्र की ऊँचाई (मास्क nm) | पहले बहुभुज का विस्तार, हर अक्ष पर 4–512 nm की सीमा में। |
रास्टर विभेदन (मास्क nm) | 4 |
बाहरी परिधि (मास्क nm) | 32 |
टाइल का आकार (मास्क nm) | 512 |
ऑप्टिकल अनुरोध
नीचे दी गई सीमाएँ संख्यात्मक इनपुट में दिखने वाले मान हैं। डिफ़ोकस मान अलग-अलग परिमित संख्याएँ हैं, जिन्हें कॉमा से अलग किया जाता है।
फ़ील्ड | प्रारंभिक मान; इनपुट मान |
|---|---|
तरंगदैर्ध्य (nm) | 13.5; 0.001 से |
संख्यात्मक एपर्चर | 0.33; 0.001–0.55 |
अवरोध अनुपात | 0; 0–0.999 |
प्रदीपन स्रोत | पारंपरिक; पारंपरिक, वलयाकार, द्विध्रुव, चतुर्ध्रुव, पिक्सेल स्रोत |
डिफोकस सूची (nm) | 0; 1–32 मान |
सीमा मान (Iref = 1) | 0.5; 0.001 से |
आउटपुट ग्रिड की चौड़ाई, आउटपुट ग्रिड की ऊँचाई | प्रत्येक 64; 2 से 512 के पूर्णांक |
उन्नत ऑप्टिकल सेटिंग
स्पष्ट ऑप्टिकल डेटा (JSON) में stack, absorber, chiefRayDeg, polarization, transport और reflectionPlaneNm होते हैं। परिवेश का अपवर्तनांक {re: 1, im: 0} है; ध्रुवण x या y है; ट्रांसपोर्ट ideal-vector-v1 या euvlitho-vector-v1 है।
ज़र्निके बहुपद (JSON) अधिकतम 37 पद स्वीकार करता है, जिनके Noll सूचकांक 1 से 37 तक अलग-अलग हों और coefficientWaves तरंगों में हो। पिक्सेल स्रोत बिंदु (JSON) इकाई पुतली के भीतर 1–256 बिंदु स्वीकार करता है, जिनके भार ऋणात्मक न हों और कुल योग धनात्मक हो।
संख्यात्मक सेटिंग (JSON; null पर इंजन का डिफ़ॉल्ट) में null, या 2 अथवा 3 के refinements स्वीकार हैं, साथ में वैकल्पिक method के लिए abbe, hopkins या socs हो सकता है। मास्क सैंपलिंग (JSON; null पर इंजन का डिफ़ॉल्ट) में null, सतत सैंपलिंग, या 1 से 8192 की पूर्णांक चौड़ाई और ऊँचाई वाली पिक्सेल सैंपलिंग स्वीकार है।
संबंधित मार्गदर्शिकाएँ
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संदर्भ फ़ैब के लेआउट, प्रक्रिया डेटा और परिणाम उदाहरण की मान्यताओं का उपयोग करते हैं।