EUV संरचना मॉडल और गणनाओं को समझें

vFactory का EUV संरचना दृश्य और कैलकुलेटर अलग-अलग प्रश्नों के उत्तर देते हैं। दोनों Cloud और Windows ऐप में उपलब्ध हैं।

vFactory उपयोग करें: फ़ैब देखें और डिज़ाइन से वेफ़र तक जाएँ

संरचना मॉडल क्या दिखाता है

संदर्भ फ़ैब का अंदरूनी दृश्य स्कैनर का शैक्षिक पुनर्निर्माण दिखाता है। यह प्रकाशीय पथ का अनुसरण करने और घटकों को पहचानने में मदद करता है।

मॉडल की ज्यामिति और घटकों की व्यवस्था सार्वजनिक जानकारी और धारणाओं पर आधारित हैं। संदर्भ सामग्री पढ़ने के लिए अंदरूनी दृश्य में स्रोत चुनें।

प्रकाशीय बजट क्या गणना करता है

EUV गणना आपके दिए गए स्रोत, बहुपरत, डोज़, स्कैन और फ़ोटॉन इनपुट का उपयोग करती है। यह प्रकाशीय पथ पर शक्ति, समतलीय प्रकाशीय प्रतिक्रिया और आदर्श पॉइसन प्रसरण सहित फ़ोटॉन संख्या की गणना करती है।

इनपुट बदलने से पिछला परिणाम हट जाता है। नए इनपुट का परिणाम पाने के लिए फिर से गणना करें।

परिणाम के साथ धारणाएँ पढ़ें

Cloud पर स्रोत और धारणाएँ को विस्तृत करके प्रत्येक इनपुट का स्रोत या धारणा देखें। Windows पर प्रत्येक इनपुट की सीमा के पास वाला टैग देखें। गणनाओं की तुलना करते समय उनके इनपुट मान साथ रखें।

संरचना दृश्य मॉडल की व्यवस्था समझाता है; बजट उसके इनपुट के लिए गणना किए गए मान देता है। प्रत्येक को उसकी अपनी धारणाओं के साथ पढ़ें।

संरचना मॉडल एक पुनर्निर्माण है और गणना के परिणाम दी गई धारणाओं पर निर्भर हैं; ये वास्तविक स्कैनर या फ़ैब के माप नहीं हैं।