vFactory में अपने पहले EUV बजट की गणना करें

स्रोत और स्कैन इनपुट जाँचें, EUV बजट की गणना करें और प्रकाशीय तथा फ़ोटॉन परिणाम पढ़ें।

EUV कैलकुलेटर Cloud या Windows ऐप में vFactory के भीतर स्थानीय रूप से चलता है। शुरू करने से पहले नीचे दी गई गाइड से vFactory खोलें।

vFactory में संदर्भ फ़ैब खोलें

इनपुट जाँचें

  1. EUV गणना टैब चुनें।

  2. पहली गणना के लिए शुरुआती स्रोत प्रीसेट और इनपुट मान बनाए रखें।

  3. डोज़ और स्कैन की धारणाएँ और फ़ोटॉन संबंधी धारणाएँ जाँचें। Cloud पर स्रोत और धारणाएँ को विस्तृत करके प्रत्येक इनपुट का स्रोत या धारणा देखें। Windows पर प्रत्येक इनपुट की सीमा के पास वाला टैग देखें।

गणना से पहले EUV गणना: लेज़र स्रोत इनपुट और उनकी सीमाओं वाला RIKEN 2026 · एकल किरण स्रोत प्रीसेट, पहले Mo/Si बहुपरत + Ru आवरण इनपुट, खाली प्रकाश संतुलन, समतलीय प्रकाशिक प्रतिक्रिया और फ़ोटॉन संतुलन और शोर अनुभाग, तथा प्रत्येक इनपुट के लिए RIKEN 2026 प्रयोग या धारणा सूचीबद्ध करने हेतु विस्तृत स्रोत और धारणाएँ।

आरंभिक RIKEN 2026 · एकल किरण प्रीसेट। स्रोत और धारणाएँ दिखाते हैं कि प्रत्येक इनपुट RIKEN 2026 प्रयोग से आया है या धारणा है।

बजट की गणना करें

  1. EUV की गणना करें चुनें।

  2. EUV गणना पूरी हुई। दिखाई देने पर प्रकाशीय पथ पर शक्ति तथा डोज़ और समय के परिणामों के लिए प्रकाश संतुलन पढ़ें।

  3. तरंगदैर्ध्य और कोण के अनुसार परावर्तन के लिए समतलीय प्रकाशिक प्रतिक्रिया पढ़ें। फ़ोटॉन संख्या और आदर्श पॉइसन प्रसरण के लिए फ़ोटॉन संतुलन और शोर पढ़ें।

EUV की गणना करें के बाद EUV गणना: संदेश EUV गणना पूरी हुई।, अपरिवर्तित RIKEN 2026 · एकल किरण इनपुट, तथा प्रकाश संतुलन में प्रेरक लेज़र (40 W) से वेफ़र पर तक स्रोत से वेफ़र तक की शक्ति पट्टियाँ और चरण के अनुसार प्रकाश संतुलन तालिका।

EUV की गणना करें के बाद प्रकाश संतुलन प्रकाशीय पथ के प्रत्येक चरण की शक्ति दिखाता है, प्रेरक लेज़र से वेफ़र तक।

कोई इनपुट बदलें

इनपुट बदलने से पिछला परिणाम हट जाता है। फ़ील्ड में दिखाई गई सीमाओं के भीतर मान दर्ज करें, फिर EUV की गणना करें दोबारा चुनें।

आउटपुट दिए गए इनपुट और धारणाओं से की गई गणनाएँ हैं, स्कैनर की मापी गई उत्पादन क्षमता, स्पेक्ट्रा या उत्पादन डेटा नहीं।