स्वच्छ कक्ष की धारणाओं को संदर्भ फ़ैब से जोड़ें
दोष घनत्व, उपज और अपेक्षित अच्छे डाइ के अनुमानों की पुनर्गणना के लिए संदर्भ परिवेश के स्लाइडर का उपयोग करें।
Cloud और Windows ऐप में, “डिज़ाइन से वेफ़र तक” की ISO वर्ग और अधोगामी प्रवाह की धारणाओं को संदर्भ फ़ैब के परिवेश से जोड़ें। शुरू करने से पहले मान्य डिज़ाइन स्रोत लोड करें; vFactory उपयोग करें: फ़ैब देखें और डिज़ाइन से वेफ़र तक जाएँ में डिज़ाइन हस्तांतरण समझाया गया है।
संदर्भ परिवेश सेट करें
विकल्प “संदर्भ फ़ैब” चुनें, फिर “फ़ैब सेटिंग” → “परिवेश” खोलें। इस जुड़ाव के लिए उदाहरण वाले संदर्भ फ़ैब का उपयोग करें; आयातित विन्यास के पूर्वावलोकन अपना परिवेश अलग रखते हैं।
स्लाइडर “वायु कण स्वच्छता (धूल)” और “अधोगामी वायु वेग” समायोजित करें। इनकी सीमाएँ क्रमशः ISO वर्ग 1–9 और 0–1 m/s हैं।
विकल्प “डिज़ाइन से वेफ़र तक” चुनें। “स्वच्छ कक्ष का परिवेश · धारणाएँ” के अंतर्गत “ISO वर्ग और अधोगामी प्रवाह के लिए फ़ैब परिवेश के स्लाइडर का उपयोग करें” चुनें। दो स्लाइडर स्वतंत्र ISO वर्ग और अधोगामी प्रवाह के फ़ील्ड की जगह लेते हैं।
चेकबॉक्स चुने जाने पर दो जुड़े स्लाइडर अलग ISO वर्ग और अधोगामी प्रवाह फ़ील्ड की जगह लेते हैं।
जब तक आप यह चेकबॉक्स नहीं चुनते, आयातित, होस्ट से मिले और फिर से खोले गए इनपुट अपनी धारणाएँ बनाए रखते हैं। जोड़ने पर वर्तमान संदर्भ परिवेश अपनाया जाता है। कण की सीमा, अवसादन गति, अनावरण तथा निक्षेपण और दोषकारी अंश के मौजूदा मान बने रहते हैं।
पुनर्गणित परिणाम जाँचें
विकल्प “पूर्वावलोकन की गणना करें” चुनें और “ज्यामिति और उपज का अनुमान” पढ़ें। इसमें “Cn अनुमान (कण/m³)”, “परिवेश D0 (दोष/cm²)” और उपज की प्रायिकताएँ शामिल हैं।
रन पूरी होने के बाद जुड़े हुए किसी एक स्लाइडर को बदलें। “वर्तमान परिवेश के लिए पुनर्गणना” पुष्टि करता है कि उन्हीं सिमुलेट किए गए लॉट पर उपज और अपेक्षित अच्छे डाइ की पुनर्गणना हुई है।
यदि “यह परिणाम प्रोजेक्ट में सहेजें” दिखाई दे, तो संशोधित परिणाम सहेजने के लिए उसे चुनें। पुनर्गणना अपने आप सहेजी नहीं जाती।
स्वतंत्र मानों का उपयोग करें
नवीनतम मानों को स्वतंत्र संख्यात्मक इनपुट के रूप में रखने के लिए चेकबॉक्स का चयन हटाएँ। पहले आयात किए गए मान बहाल नहीं होते। संख्यात्मक इनपुट संपादित करने से वर्तमान परिणाम हट जाता है; उपयोग करें: “पूर्वावलोकन की गणना करें” या “डिज़ाइन से वेफ़र तक चलाएँ”।
संदर्भ फ़ैब और परिवेश के मान उदाहरणार्थ धारणाएँ हैं। ISO सांद्रता अनुमान और निक्षेपण मैपिंग बिना अंशांकन के अनुमान हैं, मापी गई स्वच्छता, उपज या प्रमाणन नहीं।