クリーンルームの仮定を参照ファブに連携する
参照環境のスライダーを使って、欠陥密度、歩留まり、期待良品ダイ数の推定値を再計算します。
Cloud と Windows アプリでは、「設計からウェーハへ」の ISO クラスと下降気流の仮定を参照ファブの環境に連携できます。有効な設計ソースを読み込んだ状態で開始してください。設計の引き渡しについては「vFactory の使い方：ファブを見学し、設計からウェーハまでをたどる」で説明しています。
参照環境を設定する
「参照ファブ」を選択し、ファブ設定 → 環境 を開きます。この連携には参照ファブの例を使います。読み込んだ配置プレビューの環境は別に保持されます。
「浮遊粒子清浄度 (粉じん)」と「ダウンフロー風速」を調整します。範囲はそれぞれ ISO クラス 1–9 と 0–1 m/s です。
「設計からウェーハへ」を選択します。「クリーンルーム環境 · 仮定」の「ISO クラスと下降気流にはファブ環境のスライダーを使用」にチェックを入れます。二つのスライダーが、独立した ISO クラスと下降気流のフィールドに代わります。
チェックボックスを選択すると、連動する二つのスライダーが別々の ISO クラスと下降気流のフィールドに代わります。
このチェックボックスを選択するまで、読み込んだ入力、ホストから受け取った入力、再度開いた入力はそれぞれの仮定を保持します。連携すると現在の参照環境が適用されます。粒子のしきい値、沈降速度、曝露時間、付着率、致命欠陥率は元の値を保持します。
再計算した結果を確認する
「プレビューを計算」を選択して、「形状と歩留まりの推定」を確認します。ここには「Cn 代用値 (粒子/m³)」、「環境 D0 (欠陥/cm²)」と歩留まりの確率が含まれます。
実行が完了した後、連携しているどちらかのスライダーを動かします。「現在の環境で再計算済み」は、同じシミュレーション済みロットに対して、歩留まりと期待良品ダイ数が再計算されたことを示します。
「この結果をプロジェクトに保存」が表示された場合は選択し、修正した結果を保存します。再計算の結果は自動では保存されません。
独立した値を使う
チェックを外すと、最新の値が独立した数値入力として保持されます。以前に読み込んだ値には戻りません。数値入力を編集すると現在の結果がクリアされるため、「プレビューを計算」または「設計からウェーハへのシミュレーションを実行」を再度使用します。
参照ファブと環境の値は説明用の仮定です。ISO 濃度の代用値と付着への対応付けは未校正の推定であり、測定した清浄度や歩留まり、認証ではありません。