클린룸 가정을 참조 팹에 연결하기
참조 환경 슬라이더로 결함 밀도, 수율 및 예상 양품 다이 추정값을 다시 계산합니다.
Cloud와 Windows 앱에서는 ‘설계에서 웨이퍼로’ 탭의 ISO 등급과 하강 기류 가정을 참조 팹 환경에 연결할 수 있습니다. 먼저 유효한 설계 소스를 불러오세요. ‘vFactory 사용 안내: 팹 둘러보기와 설계에서 웨이퍼까지’에서 설계 전달 방법을 설명합니다.
참조 환경 설정하기
‘참조 팹’ 탭을 선택한 다음 ‘팹 설정’ → ‘환경’ 항목을 여세요. 이 연결에는 예제 참조 팹을 사용하세요. 가져온 배치 미리 보기는 별도의 환경을 유지합니다.
‘공기 중 입자 청정도 (먼지)’와 ‘하강 기류 속도’ 슬라이더를 조절하세요. 범위는 각각 ISO 등급 1–9와 0–1 m/s입니다.
‘설계에서 웨이퍼로’ 탭을 선택하세요. ‘클린룸 환경 · 가정’ 항목에서 ‘ISO 등급과 하강 기류는 팹 환경 슬라이더를 사용’ 확인란을 선택하세요. 두 슬라이더가 독립적인 ISO 등급 및 하강 기류 입력란을 대신합니다.
확인란을 선택하면 연결된 두 슬라이더가 별도의 ISO 등급 및 하강 기류 입력란을 대신합니다.
가져온 입력, 호스트에서 제공한 입력, 다시 연 입력은 이 확인란을 선택할 때까지 각자의 가정을 유지합니다. 연결하면 현재 참조 환경이 적용됩니다. 입자 임계 직경, 침강 속도, 노출 시간, 침착 비율 및 치명 결함 비율은 기존 값을 유지합니다.
다시 계산한 결과 확인하기
‘미리 보기 계산’ 버튼을 누르세요. ‘형상 및 수율 추정’ 항목에서 ‘Cn 대용값 (입자/m³)’, ‘환경 D0 (결함/cm²)’ 및 수율 확률을 읽으세요.
실행이 완료되면 연결된 슬라이더 중 하나를 움직이세요. ‘현재 환경 기준으로 다시 계산’ 문구는 동일한 시뮬레이션 로트에 대해 수율과 예상 양품 다이를 다시 계산했음을 나타냅니다.
‘이 결과를 프로젝트에 저장’ 버튼이 표시되면 눌러서 수정된 결과를 저장하세요. 다시 계산한 결과는 자동으로 저장되지 않습니다.
독립적인 값 사용하기
확인란을 해제하면 최신 값이 독립적인 숫자 입력으로 유지됩니다. 이전에 가져온 값은 복원되지 않습니다. 숫자 입력을 수정하면 현재 결과가 지워집니다. ‘미리 보기 계산’ 또는 ‘설계에서 웨이퍼로 실행’ 버튼을 다시 누르세요.
참조 팹과 환경 값은 설명을 위한 가정입니다. ISO 농도 대용값과 침착 매핑은 보정되지 않은 추정값이며, 측정된 청정도나 수율 또는 인증이 아닙니다.