Hubungkan asumsi ruang bersih ke pabrik referensi

Gunakan penggeser lingkungan referensi untuk menghitung ulang estimasi kepadatan cacat, yield, dan perkiraan die baik.

Di Cloud dan aplikasi Windows, hubungkan asumsi kelas ISO dan aliran udara ke bawah dalam Dari desain ke wafer ke lingkungan pabrik referensi. Mulailah dengan sumber desain valid yang sudah dimuat; Menggunakan vFactory: jelajahi fab dan ikuti desain hingga wafer menjelaskan serah terima desain.

Tetapkan lingkungan referensi

  1. Pilih Pabrik referensi, lalu buka Pengaturan fab → Lingkungan. Gunakan pabrik referensi contoh untuk hubungan ini; pratinjau tata letak impor mempertahankan lingkungan yang terpisah.

  2. Sesuaikan Kebersihan partikel udara (debu) dan Kecepatan aliran udara ke bawah. Rentangnya adalah kelas ISO 1–9 dan 0–1 m/s.

  3. Pilih Dari desain ke wafer. Di bawah Lingkungan ruang bersih · Asumsi, pilih Gunakan penggeser lingkungan pabrik untuk kelas ISO dan aliran ke bawah. Kedua penggeser menggantikan bidang kelas ISO dan aliran udara ke bawah yang independen.

Lingkungan ruang bersih · Asumsi di Dari desain ke wafer dengan kotak centang Gunakan penggeser lingkungan pabrik untuk kelas ISO dan aliran ke bawah dicentang: penggeser Kebersihan partikel udara (debu) pada kelas 5 ISO 14644-1 (diizinkan 1–9), penggeser Kecepatan aliran udara ke bawah pada 0.40 m/s (diizinkan 0–1 m/s), serta input Ambang partikel, kecepatan pengendapan, paparan, fraksi deposisi, dan fraksi cacat fatal.

Saat kotak centang dipilih, dua penggeser yang terhubung menggantikan bidang kelas ISO dan aliran ke bawah yang terpisah.

Input yang diimpor, disediakan host, dan dibuka kembali mempertahankan asumsi sendiri hingga Anda memilih kotak centang ini. Penghubungan menggunakan lingkungan referensi saat ini. Ambang partikel, kecepatan pengendapan, paparan, serta fraksi deposisi dan cacat fatal mempertahankan nilai yang ada.

Periksa hasil yang dihitung ulang

  1. Pilih Hitung pratinjau untuk membaca Estimasi geometri dan hasil produksi, termasuk Pendekatan Cn (partikel/m³), D0 lingkungan (cacat/cm²) dan probabilitas yield.

  2. Setelah proses simulasi selesai, gerakkan salah satu penggeser yang terhubung. Dihitung ulang untuk lingkungan saat ini mengonfirmasikan bahwa yield dan perkiraan die baik telah dihitung ulang pada lot simulasi yang sama.

  3. Jika pesan Simpan hasil ini ke proyek ditampilkan, pilih untuk menyimpan hasil yang direvisi. Perhitungan ulang tidak disimpan secara otomatis.

Gunakan nilai independen

Hapus centang untuk mempertahankan nilai terbaru sebagai input numerik independen. Nilai impor sebelumnya tidak dipulihkan. Mengedit input numerik menghapus hasil saat ini; gunakan Hitung pratinjau atau Jalankan dari desain ke wafer kembali.

Nilai pabrik referensi dan lingkungan merupakan asumsi ilustratif. Pendekatan konsentrasi ISO dan pemetaan deposisi merupakan estimasi yang belum dikalibrasi, bukan pengukuran kebersihan, yield, atau sertifikasi.