Связывание допущений чистой комнаты с эталонной фабрикой

Используйте ползунки эталонной среды для пересчёта оценок плотности дефектов, выхода годных и ожидаемого числа годных кристаллов.

В Cloud и приложении Windows свяжите допущения класса ISO и нисходящего потока в разделе «От проекта к пластине» со средой эталонной фабрики. Сначала загрузите допустимый источник проекта; руководство «Работа с vFactory: исследуйте фабрику и проследите путь от проекта до пластины» объясняет передачу проекта.

Настройте эталонную среду

  1. Выберите «Эталонная фабрика», затем откройте «Настройки фабрики» → «Среда». Для этой связи используйте эталонную фабрику из примера; предпросмотры импортированных планировок сохраняют отдельную среду.

  2. Измените значения параметров «Чистота воздуха по частицам (пыль)» и «Скорость нисходящего потока воздуха». Их диапазоны: классы ISO 1–9 и 0–1 m/s.

  3. Выберите «От проекта к пластине». В разделе «Среда чистой комнаты · Допущения» выберите «Для класса ISO и нисходящего потока используйте ползунки среды фабрики». Два ползунка заменяют независимые поля класса ISO и нисходящего потока.

Среда чистой комнаты · Допущения в разделе От проекта к пластине с установленным флажком Для класса ISO и нисходящего потока используйте ползунки среды фабрики: ползунок Чистота воздуха по частицам (пыль) на классе 5 ISO 14644-1 (допустимо 1–9), ползунок Скорость нисходящего потока воздуха на 0.40 m/s (допустимо 0–1 m/s) и поля Порог частиц, скорость осаждения, экспозиция, доля осевших частиц и доля критических дефектов.

Когда флажок установлен, два связанных ползунка заменяют отдельные поля класса ISO и нисходящего потока.

Импортированные, предоставленные хостом и повторно открытые входные данные сохраняют собственные допущения, пока вы не установите этот флажок. Связывание принимает текущую эталонную среду. Порог частиц, скорость осаждения, экспозиция, доля осевших частиц и доля критических дефектов сохраняют прежние значения.

Проверьте пересчитанный результат

  1. Выберите «Рассчитать предварительный результат», чтобы просмотреть раздел «Оценка геометрии и выхода годных», включая показатели «Приближение Cn (частиц/m³)», «D0 среды (дефектов/cm²)» и вероятности выхода годных.

  2. После завершённого запуска передвиньте любой из связанных ползунков. «Пересчитано для текущей среды» подтверждает, что выход годных и ожидаемое число годных кристаллов пересчитаны для тех же смоделированных партий.

  3. Если отображается команда «Сохранить этот результат в проект», выберите эту команду, чтобы сохранить обновлённый результат. Пересчёт не сохраняется автоматически.

Используйте независимые значения

Снимите флажок, чтобы сохранить последние значения как независимые числовые входные данные. Прежние импортированные значения не восстанавливаются. Изменение числового входного параметра очищает текущий результат; используйте «Рассчитать предварительный результат» или «Запустить моделирование от проекта к пластине» ещё раз.

Значения эталонной фабрики и среды являются иллюстративными допущениями. Приближение концентрации ISO и преобразование в осаждение — некалиброванные оценки, а не измеренная чистота, выход годных или сертификация.