Buka pabrik referensi di vFactory

Buka pabrik referensi contoh, ubah tampilan, lalu periksa tata letak dan asumsinya.

vFactory terbuka dengan pabrik referensi contoh: pabrik logika 300 mm yang ditata berdasarkan pengetahuan publik tentang strukturnya dan asumsi kami sendiri. Gunakan pabrik ini untuk mempelajari tampilan pabrik sebelum Anda bekerja dengan model Anda sendiri.

Buka vFactory

  1. Di jendela Digital Design Studio, ALcad, atau vFactory, buka menu produk di header jendela.

  2. Pilih vFactory, lalu Proses wafer dan fabrikasi.

  3. Pilih tab Pabrik referensi jika belum dipilih. Tab lainnya adalah Model proses, Dari desain ke wafer, Perhitungan EUV, dan Cuplikan EUV.

Ubah tampilan

  1. Pabrik referensi terbuka dalam Peta 3D.

  2. Gunakan tombol tampilan di bilah alat adegan untuk beralih antara Peta 2D, Peta 3D, Tampilan atas, Berjalan, dan Tampilan lantai terpisah.

Jika perangkat tidak dapat menggambar tampilan 3D, adegan menampilkan denah berskala sebenarnya dengan pesan Akselerasi 3D tidak tersedia, menampilkan rencana skala asli.

Periksa tata letak dan asumsi

  1. Pilih Pengaturan fab (tombol roda gigi) di bilah alat adegan.

  2. Panel menampilkan Pabrik referensi kami dan Pabrik logika 300 mm · struktur publik, asumsi kami.

  3. Baca ringkasan di bawahnya: Rekonstruksi · asumsi, jumlah peralatan, kelompok peralatan, zona, dan port OHT, serta 4 EUV · data proses asumsi.

Tab Pabrik referensi dalam tampilan Peta 3D, dengan Pengaturan fab terbuka di samping fab 3D. Panel menampilkan Pabrik referensi kami, Pabrik logika 300 mm · struktur publik, asumsi kami, dan ringkasan Rekonstruksi · asumsi, 300 peralatan, 17 kelompok peralatan, 8 zona, 600 port OHT dan 4 EUV · data proses asumsi.

Pengaturan fab memberi label pabrik referensi sebagai rekonstruksi berdasarkan asumsi dan merangkum peralatan, kelompok peralatan, zona, port OHT, serta peralatan EUV-nya.

Ubah jumlah peralatan

  1. Di Pengaturan fab, buka Pengaturan fab.

  2. Masukkan angka dari 200 sampai 400 di Jumlah peralatan referensi. Nilai bawaannya 300.

  3. Pilih Buka pabrik referensi. Pabrik referensi ditata ulang dengan jumlah peralatan tersebut, dan ringkasannya ikut berubah.

Pabrik referensi dalam tampilan Peta 2D: rencana skala asli dari bay cleanroom dengan panah utara dan koridor pengamatan. Di panel Pengaturan fab, bagian Pengaturan fab terbuka dengan Jumlah peralatan referensi diatur ke 300 serta tombol Buka pabrik referensi, Impor tata letak fab, dan Ekspor model simulasi.

Di Peta 2D, pabrik referensi digambar sebagai rencana skala asli. Pengaturan fab menampilkan Jumlah peralatan referensi pada nilai bawaan 300.

Angka di luar rentang itu menampilkan Pilih 200–400 peralatan.

Ekspor model simulasi menyimpan model pabrik referensi sebagai berkas JSON.

Menggunakan vFactory: jelajahi fab dan ikuti desain hingga wafer

Pabrik referensi adalah contoh. Tata letak dan data prosesnya adalah asumsi, bukan data dari pabrik sungguhan.