Menghitung neraca optik dan foton EUV

Bandingkan masukan dan hasil model dalam perhitungan EUV di Cloud 2.1.2.10 atau Windows 2.1.2.3.

Jalankan perhitungan

Buka Perhitungan EUV di vFactory dan pilih prasetel sumber.

Tinjau Multilapis Mo/Si + lapisan penutup Ru, Asumsi dosis dan pemindaian, dan Asumsi foton. Pastikan setiap nilai berada dalam rentang yang ditampilkan.

Pilih Hitung EUV.

Input Multilapis Mo/Si + lapisan penutup Ru (periode Mo/Si, ketebalan Mo, ketebalan Si, dan ketebalan lapisan penutup Ru, sudut datang dari garis normal 0°, pantulan iluminator, pantulan masker, dan pantulan proyeksi), input pertama Asumsi dosis dan pemindaian, hasil dosis dan pemindaian, serta grafik Respons optik planar tentang reflektansi terhadap panjang gelombang untuk polarisasi s dan polarisasi p.

Input multilapis menentukan model reflektivitas. Setelah perhitungan, Respons optik planar memetakan reflektansi polarisasi s dan polarisasi p terhadap panjang gelombang.

Baca hasil

Neraca cahaya menampilkan daya per tahap, dosis, kecepatan pemindaian, dan wafer per jam.

Respons optik planar menampilkan reflektansi s dan p terhadap panjang gelombang dan sudut, serta R / T / A pada 13.5 nm. Buka Tabel data panjang gelombang atau Tabel data sudut untuk nilai tepatnya.

Neraca foton dan derau menampilkan energi foton, jumlah rata-rata, dan varians Poisson ideal. Tinjau Sumber dan asumsi bersama hasilnya.

Hasil setelah Hitung EUV: tabel R / T / A pada 13.5 nm dengan reflektansi, transmitansi, dan absorptansi yang sama untuk polarisasi s dan polarisasi p, serta tabel Neraca foton dan derau untuk 20 mJ/cm² pada 100 nm² dengan fraksi terserap 0.5, yang mencantumkan energi foton, jumlah rata-rata foton datang dan terserap, serta varians Poisson ideal masing-masing.

Neraca foton dan derau membandingkan jumlah foton datang dan terserap dengan varians Poisson idealnya pada 13.5 nm.

vFactory

Ini adalah keluaran model berdasarkan asumsi, bukan produktivitas peralatan yang diukur atau prediksi untuk pabrik nyata. Sapuan panjang gelombang mempertahankan indeks optik 13.5 nm; statistik Poisson ideal tidak memprediksi cacat resist atau yield.