Impor input proses yang disiapkan untuk kapasitor MOS
Tinjau sumber dan detail konversi input MOS yang disiapkan, lalu gunakan untuk perhitungan kapasitor atau pertahankan input langsung.
Sebelum memulai
Langkah-langkah ini berlaku untuk Cloud 2.1.2.10 dan Windows 2.1.2.3.
Siapkan berkas JSON yang berisi output MOS proses yang berhasil disiapkan. Input yang diimpor mendeskripsikan substrat kapasitor MOS yang seragam dan ketebalan oksida SiO₂ ideal.
Di Cloud, hentikan runtime proyek sebelum menjalankan perhitungan perangkat dan menyimpan atau membuka dokumen proyek.
Impor dan tinjau input yang disiapkan
Di header jendela, buka menu produk dan pilih vFactory > Proses Wafer & Fabrikasi. Pilih Model proses, lalu Perangkat (MOS-C).
Pilih Impor masukan MOS proses yang disiapkan dan pilih berkas JSON yang disiapkan.
Tinjau source, sourceModel, sourceInputSha256, dan sourceResultSha256 di pratinjau. Periksa conversion untuk jendela sumber, satuan, polaritas, doping, dan ketebalan oksida; periksa preparedInput untuk parameter MOS-C.
Pilih Konfirmasi masukan MOS yang disiapkan untuk menggunakan input yang dipratinjau. Untuk mempertahankan input langsung saat ini, pilih Gunakan masukan MOS langsung.
Hitung dan periksa input yang digunakan
Perluas Asal sumber proses untuk memeriksa catatan sumber yang digunakan, ownerSha256, dan sourceRevision.
Pilih Jalankan simulasi MOS-C. Baca grafik kapasitansi LF/HF, potensial permukaan, dan muatan semikonduktor serta tabel konvergensi.
Untuk kembali ke input langsung, pilih Gunakan masukan MOS langsung, edit Masukan MOS-C (SI), lalu pilih Terapkan masukan.