Pahami model struktur EUV dan perhitungannya

Bedakan model struktur edukatif dari hasil anggaran optik dan baca asumsi setiap tampilan.

Tampilan struktur EUV dan kalkulator vFactory menjawab pertanyaan yang berbeda. Keduanya tersedia pada Cloud dan aplikasi Windows.

Struktur EUV dan perhitungan optik

Bedakan model struktur edukatif dari hasil anggaran optik dan baca asumsi setiap tampilan.

Masukan

  • 1. Rekonstruksi · asumsi: struktur publik, ukuran yang diasumsikan
  • 3. Masukan optik

Model / tindakan

  • 2. Rekonstruksi edukatif
  • 4. Hitung EUV

Hasil

  • 5. Neraca cahaya
  • 6. Respons optik planar
  • 7. Neraca foton dan derau

Koneksi

  • 1. Rekonstruksi · asumsi: struktur publik, ukuran yang diasumsikan → 2. Rekonstruksi edukatif: →
  • 3. Masukan optik → 4. Hitung EUV: →
  • 4. Hitung EUV → 5. Neraca cahaya: →
  • 4. Hitung EUV → 6. Respons optik planar: →
  • 4. Hitung EUV → 7. Neraca foton dan derau: →

Menggunakan vFactory: jelajahi fab dan ikuti desain hingga wafer

Apa yang ditampilkan model struktur

Tampilan bagian dalam di Pabrik referensi menampilkan rekonstruksi edukatif sebuah pemindai. Tampilan ini membantu Anda mengikuti jalur optik dan mengenali komponen.

Geometri dan susunan komponen model didasarkan pada informasi publik dan asumsi. Pilih Sumber dalam tampilan bagian dalam untuk membaca materi rujukan.

Apa yang dihitung anggaran optik

Perhitungan EUV menggunakan input sumber, multilapis, dosis, pemindaian, dan foton yang Anda berikan. Perhitungan ini menghasilkan daya sepanjang jalur optik, respons optik planar, serta jumlah foton dengan varians Poisson ideal.

Mengubah input akan menghapus hasil sebelumnya. Hitung lagi untuk mendapatkan hasil dari input baru.

Baca asumsi bersama hasilnya

Pada Cloud, perluas Sumber dan asumsi untuk memeriksa sumber atau asumsi setiap input. Pada Windows, periksa tag di samping rentang setiap input. Simpan nilai input bersama setiap perbandingan antarperhitungan yang Anda buat.

Tampilan struktur menjelaskan susunan model; anggaran memberikan nilai yang dihitung untuk inputnya. Baca masing-masing beserta asumsinya sendiri.

Model struktur adalah rekonstruksi, dan hasil perhitungan bergantung pada asumsi yang diberikan; keduanya bukan pengukuran pemindai atau fab nyata.