vFactory에서 참조 팹 열기

예제 참조 팹을 열고 보기를 바꾼 뒤 배치와 가정을 확인합니다.

vFactory를 열면 예제 참조 팹이 표시됩니다. 공개 구조 지식과 자체 가정으로 배치한 300 mm 로직 팹입니다. 자신의 모델로 작업하기 전에 이 팹으로 팹 보기를 익히세요.

vFactory 열기

  1. Digital Design Studio, ALcad 또는 vFactory 창의 머리글에서 제품 메뉴를 여세요.

  2. vFactory 항목을 고른 다음 웨이퍼 공정 및 팹 항목을 고르세요.

  3. 참조 팹 탭이 선택되어 있지 않으면 선택하세요. 다른 탭은 공정 모델, 설계에서 웨이퍼로, EUV 계산, EUV 클립 탭입니다.

보기 바꾸기

  1. 참조 팹은 3D 지도 보기로 열립니다.

  2. 장면 도구 모음의 보기 버튼으로 2D 지도, 3D 지도, 윗면 보기, 보행, 돌하우스 보기를 전환하세요.

기기에서 3D 보기를 그릴 수 없으면 장면에 실척 평면도가 표시되고 3D 가속을 사용할 수 없음 · 실척 평면도를 표시합니다 메시지가 나옵니다.

배치와 가정 확인하기

  1. 장면 도구 모음에서 팹 설정 버튼(톱니바퀴)을 누르세요.

  2. 패널에 우리의 참조 팹 제목과 300 mm 로직 팹 · 공개 구조 지식과 자체 가정 설명이 표시됩니다.

  3. 그 아래 요약에서 재구성·가정 항목, 장비·장비군·구역·OHT 포트 수, 4 EUV · 공정 데이터는 자체 가정 항목을 확인하세요.

‘3D 지도’ 보기의 ‘참조 팹’ 탭이며, 3D 팹 옆에 ‘팹 설정’ 패널이 열려 있습니다. 패널에는 ‘우리의 참조 팹’, ‘300 mm 로직 팹 · 공개 구조 지식과 자체 가정’과 요약 ‘재구성·가정’, 장비 300대, 장비군 17개, 구역 8개, OHT 포트 600개, ‘4 EUV · 공정 데이터는 자체 가정’이 표시됩니다.

‘팹 설정’ 패널은 참조 팹이 가정에 기반한 재구성임을 표시하고 장비, 장비군, 구역, OHT 포트, EUV 장비를 요약합니다.

장비 수 바꾸기

  1. 팹 설정 패널에서 팹 설정 항목을 펼치세요.

  2. 참조 장비 수 칸에 200에서 400 사이의 수를 입력하세요. 기본값은 300입니다.

  3. 참조 팹 열기 버튼을 누르세요. 참조 팹이 그 장비 수로 다시 배치되고 요약도 그에 맞게 바뀝니다.

‘2D 지도’ 보기의 참조 팹으로, 북쪽 화살표와 관람 통로가 있는 클린룸 베이의 실척 평면도입니다. ‘팹 설정’ 패널에서 ‘팹 설정’ 항목이 펼쳐져 있고 ‘참조 장비 수’는 300이며, ‘참조 팹 열기’, ‘팹 레이아웃 가져오기’, ‘시뮬레이션 모델 내보내기’ 버튼이 있습니다.

‘2D 지도’에서는 참조 팹이 실척 평면도로 그려집니다. ‘팹 설정’ 항목에는 ‘참조 장비 수’가 기본값 300으로 표시됩니다.

범위를 벗어난 수를 입력하면 장비 수는 200–400대로 입력하세요. 메시지가 나옵니다.

시뮬레이션 모델 내보내기 버튼은 참조 팹 모델을 JSON 파일로 저장합니다.

vFactory 사용 안내: 팹 둘러보기와 설계에서 웨이퍼까지

참조 팹은 예제입니다. 배치와 공정 데이터는 가정값이며 실제 팹의 데이터가 아닙니다.