在 vFactory 中打开参考晶圆厂

打开 vFactory 时会显示示例参考晶圆厂。这是一座依据公开的结构知识和我们自己的假设布置的 300 mm 逻辑晶圆厂。在使用自己的模型之前，请先用它熟悉晶圆厂的视图。

打开 vFactory

1. 在 Digital Design Studio、ALcad 或 vFactory 窗口中，打开窗口标题栏中的产品菜单。

2. 选择 vFactory，然后选择 晶圆工艺与晶圆厂。

3. 如果尚未选中 参考晶圆厂 选项卡，请选择它。其他选项卡为 工艺模型、从设计到晶圆、EUV 计算 和 EUV 裁切。

切换视图

1. 参考晶圆厂以 3D 地图 打开。

2. 使用场景工具栏中的视图按钮，在 2D 平面图、3D 地图、俯视图、漫游 和 分层剖视 之间切换。

如果设备无法绘制 3D 视图，场景会显示真实比例的平面图，并出现 无法使用 3D 加速 · 显示实际比例平面图 消息。

检查布局和假设

1. 在场景工具栏中选择 晶圆厂设置（齿轮按钮）。

2. 面板会显示 我们的参考晶圆厂 和 300 mm 逻辑晶圆厂 · 公开结构与我们的假设。

3. 查看下方的摘要：重建・假设、设备、设备组、区域和 OHT 接口的数量，以及 4 EUV · 假设的工艺数据。

“晶圆厂设置”将参考晶圆厂标为基于假设的重建，并汇总其设备、设备组、区域、OHT 接口和 EUV 设备。

更改设备数量

1. 在 晶圆厂设置 中展开 晶圆厂设置。

2. 在 参考设备数量 中输入 200 到 400 之间的数字。默认值为 300。

3. 选择 打开参考晶圆厂。参考晶圆厂会按该设备数量重新布置，摘要也会随之更新。

在“2D 平面图”中，参考晶圆厂按实际比例平面图绘制。“晶圆厂设置”项显示“参考设备数量”的默认值 300。

输入超出范围的数字时，会显示 请选择 200–400 台设备。

导出仿真模型 会将参考晶圆厂模型保存为 JSON 文件。

使用 vFactory：探索晶圆厂，跟随设计到晶圆的流程

参考晶圆厂只是示例。其布局和工艺数据均为假设，并非来自真实晶圆厂的数据。