Откройте эталонную фабрику в vFactory

Откройте пример эталонной фабрики, смените вид и проверьте её планировку и допущения.

vFactory открывается с примером эталонной фабрики: это фабрика логических схем для пластин 300 мм, спланированная по общедоступным сведениям о структуре и нашим собственным допущениям. Изучите на ней виды фабрики, прежде чем работать со своими моделями.

Откройте vFactory

  1. В окне Digital Design Studio, ALcad или vFactory откройте меню продуктов в заголовке окна.

  2. Выберите vFactory, затем Процессы и фабрика.

  3. Если вкладка Эталонная фабрика ещё не выбрана, выберите её. Другие вкладки: Модели процессов, От проекта к пластине, Расчёт EUV и Клип EUV.

Смените вид

  1. Эталонная фабрика открывается в виде 3D-карта.

  2. Кнопками видов на панели инструментов сцены переключайтесь между видами 2D-карта, 3D-карта, Вид сверху, Пешком и Поэтажный разрез.

Если устройство не может отображать 3D-виды, сцена показывает план в натуральном масштабе с сообщением 3D-ускорение недоступно · показан план в натуральном масштабе.

Проверьте планировку и допущения

  1. Нажмите кнопку Настройки фабрики (шестерёнка) на панели инструментов сцены.

  2. На панели отображаются Наша эталонная фабрика и Фабрика логических микросхем на пластинах 300 mm · открытая структура, наши допущения.

  3. Прочитайте сводку под ними: Реконструкция · допущения, число установок, групп оборудования, зон и портов OHT, а также 4 EUV · предполагаемые данные процесса.

Вкладка Эталонная фабрика в режиме 3D-карта, рядом с 3D-фабрикой открыта панель Настройки фабрики. На панели показаны Наша эталонная фабрика, Фабрика логических микросхем на пластинах 300 mm · открытая структура, наши допущения и сводка Реконструкция · допущения, 300 установок, 17 групп оборудования, 8 зон, 600 портов OHT и 4 EUV · предполагаемые данные процесса.

Панель Настройки фабрики обозначает эталонную фабрику как реконструкцию на основе допущений и суммирует её установки, группы оборудования, зоны, порты OHT и установки EUV.

Измените число установок

  1. На панели Настройки фабрики раскройте раздел Настройка фабрики.

  2. Введите в поле Число эталонных установок число от 200 до 400. Значение по умолчанию — 300.

  3. Нажмите кнопку Открыть эталонную фабрику. Эталонная фабрика перестраивается под это число установок, и сводка обновляется.

Эталонная фабрика в режиме 2D-карта: план отсеков чистого помещения в натуральном масштабе со стрелкой севера и смотровым коридором. На панели Настройки фабрики открыт раздел Настройка фабрики, в поле Число эталонных установок задано 300, и показаны кнопки Открыть эталонную фабрику, Импортировать планировку фабрики и Экспортировать модель симуляции.

В режиме 2D-карта эталонная фабрика изображена как план в натуральном масштабе. В разделе Настройка фабрики поле Число эталонных установок показывает значение по умолчанию 300.

Если число выходит за этот диапазон, появляется сообщение Выберите 200–400 установок.

Кнопка Экспортировать модель симуляции сохраняет модель эталонной фабрики в файл JSON.

Работа с vFactory: исследуйте фабрику и проследите путь от проекта до пластины

Эталонная фабрика — это пример. Её планировка и данные процессов являются допущениями, а не данными реальной фабрики.