Jalankan dan simpan proses DUV yang ditautkan
Hubungkan tahap wafer ke peralatan fab, jalankan segmen DUV, dan simpan alur secara lokal atau di proyek yang dipilih. Langkah-langkah ini berlaku untuk Cloud 2.1.2.10 dan Windows 2.1.2.3.
Buka meja kerja DUV
Di vFactory, pilih Model proses, lalu pilih Tautan proses DUV.
Di Cloud, perluas Edit masukan model yang dipetakan dalam formulir untuk mengubah resep wafer dan input peralatan fab. Di Windows, perluas bagian Input lanjutan pertama untuk formulir ini.
Untuk mengedit JSON di Cloud, perluas Edit masukan model yang dipetakan sebagai JSON. Di Windows, perluas bagian Input lanjutan bawah yang berisi Data input model. Edit JSON dan pilih Terapkan input model. Kolom yang dapat diedit adalah wafer, fab, mapping, waferId, lotId, dan routeId.
Jalankan dan periksa segmen
Pilih Jalankan segmen DUV untuk menghitung model wafer dan fab. Selama eksekusi, pilih Batalkan segmen DUV untuk menghentikannya.
Saat Perhitungan selesai muncul, pilih tahap di DUV stage mapping untuk memeriksa peralatan, jadwal, dan profil hasil perhitungannya dalam adegan fab berskala.
Perluas Asal-usul eksekusi proses untuk memeriksa tahap yang dipilih serta identitas mesin wafer dan fab.
Simpan dan buka berkas lokal
Buka Tindakan lainnya > Simpan berkas alur DUV. Di Cloud maupun Windows, tindakan ini memulai unduhan bernama duv-flow.alcad-duv-fab.json.
Pilih Tindakan lainnya > Buka berkas alur DUV dan pilih alur JSON yang disimpan. Jika alur saat ini memiliki perubahan tanpa penyimpanan berkas yang terkonfirmasi, pilih Replace DUV flow atau Keep current DUV flow.
Untuk menghubungkan adegan berskala, pilih Tindakan lainnya > Hubungkan berkas adegan berskala dan pilih berkas JSON adegannya.
Simpan dan buka berkas proyek
Gunakan proyek yang dipilih dengan sesi berkas aktif dan izin untuk menyimpan berkasnya. Di Cloud, hentikan runtime proyek sebelum menyimpan. Operasi proyek memeriksa proyek, sesi, dan revisi sumber.
Pilih Simpan alur DUV sebagai berkas proyek, masukkan Nama file dokumen proyek baru, seperti duv-flow.alcad-fab-scene.json, lalu pilih Simpan dokumen proyek.
Pilih Buka alur DUV dari proyek, pilih Dokumen proyek, lalu pilih Buka dokumen proyek. Jika draf memiliki perubahan yang belum disimpan, pilih Ganti draf yang belum disimpan dengan file ini. sebelum membuka.
Setelah membuka atau menyimpan berkas proyek, pilih Simpan alur DUV ke proyek untuk memperbarui berkas tersebut. Untuk alur baru, kontrol ini membuka dialog nama berkas. Gunakan Simpan alur DUV sebagai berkas proyek dengan nama berkas berbeda untuk membuat berkas lain.
Tunggu konfirmasi penyimpanan. Aplikasi memeriksa versi berkas yang ada sebelum menggantinya dan membaca kembali konten yang disimpan untuk memverifikasinya.