Hitung anggaran EUV pertama Anda di vFactory

Periksa input sumber dan pemindaian, hitung anggaran EUV, lalu baca hasil optik dan foton.

Kalkulator EUV berjalan secara lokal di vFactory pada Cloud atau aplikasi Windows. Sebelum memulai, buka vFactory dengan panduan di bawah.

Buka pabrik referensi di vFactory

Periksa input

  1. Pilih tab Perhitungan EUV.

  2. Untuk perhitungan pertama, pertahankan preset sumber dan nilai input awal.

  3. Periksa Asumsi dosis dan pemindaian dan Asumsi foton. Pada Cloud, perluas Sumber dan asumsi untuk memeriksa sumber atau asumsi setiap input. Pada Windows, periksa tag di samping rentang setiap input.

Perhitungan EUV sebelum perhitungan: prasetel sumber RIKEN 2026 · Berkas tunggal dengan input sumber laser dan rentangnya, input pertama Multilapis Mo/Si + lapisan penutup Ru, bagian kosong Neraca cahaya, Respons optik planar, dan Neraca foton dan derau, serta Sumber dan asumsi yang diperluas untuk mencantumkan Eksperimen RIKEN 2026 atau Asumsi pada setiap input.

Prasetel awal RIKEN 2026 · Berkas tunggal. Sumber dan asumsi menunjukkan apakah setiap input berasal dari eksperimen RIKEN 2026 atau merupakan asumsi.

Hitung anggaran

  1. Pilih Hitung EUV.

  2. Saat Perhitungan EUV selesai. muncul, baca Neraca cahaya untuk melihat daya sepanjang jalur optik serta hasil dosis dan waktu.

  3. Baca Respons optik planar untuk melihat reflektansi menurut panjang gelombang dan sudut. Baca Neraca foton dan derau untuk melihat jumlah foton dan varians Poisson ideal.

Perhitungan EUV setelah Hitung EUV: pesan Perhitungan EUV selesai., input RIKEN 2026 · Berkas tunggal yang tidak berubah, dan Neraca cahaya dengan batang daya dari sumber ke wafer, dari Laser penggerak (40 W) sampai Pada wafer, serta tabel Neraca cahaya per tahap.

Setelah Hitung EUV, Neraca cahaya menampilkan daya pada setiap tahap jalur optik, dari laser penggerak sampai wafer.

Ubah input

Mengubah input akan menghapus hasil sebelumnya. Masukkan nilai dalam rentang yang ditampilkan pada kolom, lalu pilih Hitung EUV lagi.

Output merupakan perhitungan dari input dan asumsi yang diberikan, bukan throughput pemindai, spektrum, atau data produksi hasil pengukuran.