Jalankan model proses pertama Anda di vFactory

Buka model proses, periksa input contoh, jalankan model, lalu baca hasilnya.

Model proses terbuka dengan proses wafer contoh. Periksa inputnya, jalankan, lalu baca hasil yang dihitung.

Buka model proses

  1. Buka menu produk, lalu pilih vFactory dan kemudian Proses wafer dan fabrikasi.

  2. Pilih tab Model proses.

  3. Di Model simulasi, biarkan Proses wafer. Formulir dimulai dengan input Contoh lapisan planar.

Periksa input

  1. Tinjau Koefisien material, Lapisan awal dari permukaan, dan Urutan proses.

  2. Urutan contoh memiliki tiga langkah: Deposisi film terdoping, Anil lapisan, dan Etsa film selektif.

  3. Buka Asumsi dan satuan model untuk membaca satuan dan cakupan model.

Tab Model proses dengan Model simulasi diatur ke Proses wafer. Asumsi dan satuan model terbuka, diikuti Koefisien material untuk substrat dan film, Lapisan awal dari permukaan, dan awal Urutan proses. Panel hasil menyatakan Belum ada hasil terhitung.

Sebelum dijalankan pertama kali, tinjau asumsi dan satuan, koefisien material, serta lapisan awal contoh. Belum ada hasil yang ditampilkan.

Jalankan model

  1. Pilih Jalankan simulasi (tombol putar) di bilah alat.

  2. Selama model berjalan, status menampilkan Menghitung model…. Untuk menghentikan proses, pilih Batalkan simulasi.

  3. Saat status menampilkan Perhitungan selesai, hasil muncul di samping input, termasuk Logaritma konsentrasi dan Periksa tahap proses.

Model proses setelah dijalankan. Bilah status menampilkan Perhitungan selesai, dan Asal-usul eksekusi proses menunjukkan eksekusi sebagai selesai. Hasil terhitung menampilkan tahap 3. Etsa film selektif beserta ketebalan, dosis, dan jumlah selnya, sebuah grafik konsentrasi menurut kedalaman, serta tabel Riwayat proses dan konservasi.

Setelah Perhitungan selesai, hasil menampilkan tahap proses yang dipilih, profil konsentrasi menurut kedalaman, dan riwayat proses. Asal-usul eksekusi proses menunjukkan eksekusi sebagai selesai.

Jika Anda mengubah input setelah model dijalankan, status menampilkan Input berubah. Pilih Jalankan simulasi lagi untuk memperbarui hasil.

Model proses setelah input diubah. Spanduk Input berubah menyatakan bahwa hasil yang ditampilkan milik input sebelumnya dan bahwa Anda harus menjalankan model yang diperbarui untuk menyegarkannya. Langkah difusi Anil lapisan kini memiliki Durasi (s) 60, dan hasil sebelumnya tetap di sebelah kanan.

Banner "Input berubah" menandakan bahwa hasil di sebelah kanan masih berasal dari input sebelumnya hingga Anda menjalankan model lagi.

Jika proses tidak selesai

Simulasi tidak selesai muncul bersama pesan yang menjelaskan masalahnya. Ikuti petunjuk dalam pesan, lalu jalankan model lagi.

Jalankan simulasi tidak tersedia selama proses berjalan atau selama operasi berkas proyek sedang berlangsung.

Saat berkas proyek tidak tersedia, Jalankan simulasi tidak dapat digunakan. Hubungkan kembali proyek, lalu jalankan model.

Jika Proyek berubah muncul, ikuti pesannya: Buka dokumen proses proyek ini atau buat yang baru.

Simpan input dan hasil

  1. Simpan input menyimpan input saat ini sebagai berkas JSON.

  2. Ekspor hasil tersedia setelah model dijalankan dan menyimpan input bersama hasilnya.

  3. Untuk mencoba model pabrik berikutnya, pilih Simulasi pabrik di Model simulasi. Model ini dimulai dengan input Contoh fab dengan alur berulang.

Menggunakan vFactory: jelajahi fab dan ikuti desain hingga wafer

Masukan contoh adalah asumsi sintetis. Hasil menyimulasikan model yang diberikan, bukan data produksi terukur.