Jeda dan lanjutkan tahap DUV
Buat checkpoint setelah setiap tahap DUV planar selesai, jeda pada batas tahap, dan lanjutkan dari tahap berikutnya. Langkah-langkah ini berlaku untuk Cloud 2.1.2.10 dan Windows 2.1.2.3.
Mulai eksekusi bertahap
Di vFactory, buka Model proses, lalu pilih Tautan proses DUV.
Gunakan alur planar dengan tahap deposisi, difusi, peningkatan suhu bertahap, atau etsa. Buka Tindakan lainnya dan pilih Jalankan dengan titik pemeriksaan tahap. Checkpoint mencatat setiap tahap yang selesai.
Jeda dan lanjutkan
Di Cloud, pilih Jeda setelah tahap ini di samping progres yang sedang berjalan. Di Windows, buka Tindakan lainnya dan pilih Jeda setelah tahap ini.
Tunggu hingga tahap saat ini selesai. Checkpoint yang dipertahankan mengidentifikasi tahap yang selesai.
Buka Tindakan lainnya dan pilih Lanjutkan tahap berikutnya untuk melanjutkan tahap berikutnya yang belum selesai menggunakan profil dan waktu berlalu yang dipertahankan.
Pertahankan checkpoint
Selama eksekusi, Batalkan segmen DUV menghentikan eksekusi dan mempertahankan checkpoint yang selesai. Tindakan lainnya > Simpan berkas alur DUV menyertakan checkpoint dalam berkas alur.
Pertahankan input wafer dan fab, pemetaan tahap, serta pengenal wafer, lot, dan rute agar tidak berubah untuk melanjutkan. Aplikasi memeriksa hash input dan hasil checkpoint serta identitas mesin sebelum melanjutkan.