Input “Dari desain ke wafer”
Lihat kolom paket sumber, rentang input numerik, dan nilai JSON backend.
Referensi ini berlaku untuk vFactory di Cloud 2.1.2.10 dan Windows 2.1.2.3.
Gunakan nilai ini di Dari desain ke wafer. Input numerik menggunakan bilangan hingga; jumlah lot dan wafer menggunakan bilangan bulat.
Paket sumber
Impor sumber DDS / penyerahan desain ke fabrikasi menerima file JSON hingga 1 MiB (1048576 byte): DesignToWaferInput yang diserialkan atau {source: DesignSource}. Paket yang hanya berisi sumber menggunakan asumsi default. Input tervalidasi berukuran paling besar 32768 byte dalam JSON kanonis.
DesignSource berisi projectId, gdsPath, inputSha256, structure, dan boundsM. Gunakan jalur host .gds atau .gdsii, SHA-256 heksadesimal huruf kecil sepanjang 64 karakter, serta batas [minX, minY, maxX, maxY] dalam meter dengan lebar dan tinggi positif. Geometri menggunakan kisi nanometer bilangan bulat.
Di Cloud, setiap sisi die menerima nilai dari 1,5 hingga 20 mm, dan Rute pabrik acuan menyediakan logic-a dan logic-b, dengan logic-a dipilih secara default. Windows menggunakan logic-a.
Nilai numerik
Waktu rilis lot terakhir, (lot count − 1) × release interval, diterima hingga 31536000 detik. Geometri dan nilai turunan divalidasi saat penghitungan pratinjau dan eksekusi.
Input | Nilai yang diterima |
|---|---|
Lebar jalur pemotongan (µm) | 0–10000 |
Pengecualian tepi (mm) | 0 ≤ nilai < 150 |
D0 pengguna (cacat/cm²) · Asumsi | 0–1000000 |
Koefisien pengelompokan α | 0 < nilai ≤ 1000000 |
Jumlah lot | 1–50 |
Wafer per lot | 1–1000 |
Interval pelepasan (s) | 0–31536000 |
Kelas ISO · Asumsi | 1–9, termasuk nilai pecahan |
Ambang D (µm) | 0,1–5 |
Aliran turun (m/s), Kecepatan pengendapan (m/s), Paparan (s) | 0–9007199254740991 |
Fraksi deposisi (0–1), Fraksi cacat fatal (0–1) | 0–1 |
JSON backend
Impor JSON tahap akhir menerima skema altifigence.vfactory-backend/v1, name, dan steps. Berikan 1–32 langkah dengan nama unik, masing-masing berisi name dan durationS. Setiap durasi dan jumlahnya diterima dari 0 hingga 31536000 detik. Nama model dan langkah menggunakan 1–256 karakter, tanpa spasi di awal dan akhir serta tanpa karakter kontrol ASCII.
Panduan terkait
Menggunakan vFactory: jelajahi fab dan ikuti desain hingga wafer
Tata letak fab referensi, data proses, dan hasil menggunakan asumsi contoh.