Nilai default adegan
Lihat nilai awal wafer, berjalan, dan lingkungan, beserta satuan dan rentang yang diterima.
Referensi ini berlaku untuk vFactory di Cloud 2.1.2.10 dan Windows 2.1.2.3.
Adegan baru dimulai dengan nilai wafer, berjalan, dan lingkungan berikut. Buka Pengaturan fab untuk mengeditnya.
Nilai wafer dan berjalan
Kolom wafer berada di Lantai dan wafer. Kolom berjalan berada di Berjalan.
Kolom | Default; rentang yang diterima |
|---|---|
Diameter wafer | 300 mm; 25–450 mm |
Ketebalan wafer | 0,775 mm; 0,1–2 mm |
Tinggi wafer pada port pemuatan | 900 mm; 0–3000 mm |
Tinggi titik pandang | 1,6 m; 1–2,2 m |
Radius tubuh | 300 mm; 150–600 mm |
Kecepatan berjalan | 1,4 m/s; 0,2–5 m/s |
Laju putaran | 90 °/s; 15–360 °/s |
Nilai lingkungan
Buka Lingkungan untuk melihat nilai lingkungan adegan yang dicatat.
Kolom | Default; rentang yang diterima |
|---|---|
Suhu lingkungan | 21 °C; 15–30 °C |
Kelembapan relatif | 45 %RH; 20–70 %RH |
Kebersihan partikel udara (debu) | ISO 14644-1 kelas 5; kelas 1–9, bilangan bulat |
Kecepatan aliran udara ke bawah | 0,4 m/s; 0–1 m/s |
Perbedaan tekanan ruang | 15 Pa; 0–50 Pa |
Koordinat dan satuan tersimpan
Panjang tersimpan menggunakan milimeter dan sudut menggunakan derajat. Titik asal berada di sudut barat daya lantai: X mengarah ke timur, Y ke utara, dan Z ke atas dari lantai.
Panduan terkait
Buka pabrik referensi di vFactory
Tata letak fab referensi, data proses, dan hasil menggunakan asumsi contoh.