Lihat bagian dalam model EUV di vFactory

Buka tampilan bagian dalam pemindai EUV, ikuti jalur optiknya, dan baca sumbernya.

Gunakan Lab struktur EUV untuk memeriksa model pemindai edukatif pada Cloud atau aplikasi Windows. Sebelum memulai, buka fab referensi dengan panduan di bawah.

Buka pabrik referensi di vFactory

Buka tampilan bagian dalam

  1. Pada Cloud, pilih Peta 3D pada bilah alat adegan fab referensi, lalu pilih pemindai EUV. Di Windows, pilih Berjalan, klik di dalam tampilan fab 3D agar tampilan mendapat fokus, lalu gunakan W/S dan A/D untuk mendekati pemindai EUV.

  2. Pilih tindakan untuk melihat bagian dalam pemindai saat tindakan itu muncul, misalnya Lihat ke dalam · pemindai EUV 1 untuk pemindai 1.

Pahami model

Tampilan bagian dalam terbuka dengan selubung disembunyikan dan seluruh jalur optik terlihat. Label komponen membantu Anda mengikuti jalur melalui model.

  1. Baca pemberitahuan model dalam tampilan.

  2. Pilih Sumber untuk membaca materi rujukan.

Tampilan bagian dalam pemindai EUV 1 di Lab struktur EUV: model pemindai High-NA · 0.55 NA dengan selubung disembunyikan dan jalur optik EUV ungu, tombol Cara penggunaan dan Sumber, kotak centang Selubung tidak dicentang, kotak centang Jalur cahaya dan Nama dicentang, serta panel Catatan berlabel Struktur publik · rekonstruksi konseptual.

Tampilan bagian dalam pemindai EUV 1 dengan jalur optik ditampilkan. Panel Catatan menandai model sebagai struktur publik dan rekonstruksi konseptual.

Kembali ke fab

Pilih Tutup tampilan dalam untuk kembali ke adegan fab.

Struktur EUV adalah rekonstruksi edukatif dari informasi publik dan asumsi, bukan data pengukuran peralatan.