vFactory で参照ファブを開く
例の参照ファブを開き、表示を切り替えて、配置と仮定を確認します。
vFactory を開くと、例の参照ファブが表示されます。公開されている構造の知識と当社の仮定に基づいて配置した 300 mm ロジックファブです。自分のモデルで作業する前に、このファブでファブの表示方法を確認してください。
vFactory を開く
Digital Design Studio、ALcad、vFactory のいずれかのウィンドウで、ウィンドウのヘッダーにある製品メニューを開きます。
vFactory を選び、次に ウェーハ工程・ファブ を選びます。
参照ファブ タブが選択されていない場合は選択します。ほかのタブは 工程モデル、設計からウェーハへ、EUV 計算、EUVクリップ です。
表示を切り替える
参照ファブは 3D マップ で開きます。
シーンのツールバーにある表示ボタンで、2D マップ、3D マップ、上面図、ウォーク、ドールハウス を切り替えます。
デバイスで 3D 表示を描画できない場合、シーンには実寸の平面図が表示され、3D アクセラレーションを利用できません · 実寸平面図を表示しています というメッセージが表示されます。
配置と仮定を確認する
シーンのツールバーで ファブ設定（歯車のボタン）を選択します。
パネルに 独自の参照ファブ と 300 mmロジックファブ · 公開構造と独自の仮定 が表示されます。
その下の概要で、再構成・仮定、装置・装置グループ・区画・OHT ポートの数、4 EUV · 仮定した工程データ を確認します。
「ファブ設定」は、参照ファブが仮定に基づく再構成であることを示し、装置、装置グループ、区画、OHT ポート、EUV 装置を要約します。
装置の数を変更する
ファブ設定 で ファブ設定 を開きます。
参照装置数 に 200 から 400 までの数を入力します。既定値は 300 です。
参照ファブを開く を選択します。参照ファブがその装置数で配置し直され、概要もそれに合わせて変わります。
「2D マップ」では、参照ファブが実寸平面図として描かれます。「ファブ設定」の項目には、「参照装置数」が既定値の 300 と表示されます。
範囲外の数を入力すると 装置数を200–400台で指定してください。 と表示されます。
シミュレーションモデルを書き出す は、参照ファブのモデルを JSON ファイルとして保存します。
vFactory の使い方：ファブを見学し、設計からウェーハまでをたどる
参照ファブは例です。配置と工程データは仮定であり、実際のファブのデータではありません。