Импортируйте исходные данные проекта

Загрузите пакет входных данных проекта в формате JSON в vFactory и проверьте его исходные данные перед расчётом предварительного просмотра или запуском эталонной фабрики.

Импортируйте пакет

В меню продуктов выберите vFactory → Процессы и фабрика, затем От проекта к пластине. Эти действия по импорту применимы к Cloud и Windows 2.1.2.3.

  1. Выберите Импортировать исходные данные DDS / тейпаута и укажите файл JSON размером не более 1 MiB.

  2. Дождитесь сообщения Пакет исходных данных импортирован.

  3. Проверьте Исходный проект, Путь GDS, Структура, Размеры кристалла по ограничивающему прямоугольнику GDS и SHA-256 исходных данных.

  4. Проверьте входные данные геометрии, выхода годных, среды и партий перед выбором Рассчитать предварительный результат или Запустить моделирование от проекта к пластине.

Подготовьте JSON

Используйте либо полный объект DesignToWaferInput, либо пакет только с исходными данными, содержащий ровно один ключ верхнего уровня — source. Объект source содержит projectId, gdsPath, inputSha256, structure и boundsM. boundsM — это [minX, minY, maxX, maxY] в метрах. Укажите путь с расширением .gds или .gdsii и значение SHA-256 из 64 шестнадцатеричных символов в нижнем регистре.

Полные входные данные также содержат scribeUm, edgeExclusionMm, d0PerCm2, alpha, lotCount, wafersPerLot, releaseIntervalS и environment. Объект environment содержит isoClass, particleDiameterUm, downflowMPerS, settlingMPerS, exposureS, depositionFraction и killerFraction. Передавайте числа как числовые значения JSON. Пакет только с исходными данными использует начальные значения рабочей области по умолчанию; полный пакет задаёт собственные допущения.

В Cloud длина каждой стороны кристалла, определённая по boundsM, должна составлять 1,5–20 mm. Cloud также принимает необязательные значения routeId: logic-a и logic-b. Для Windows 2.1.2.3 подготовьте пакет с указанными выше полями исходных и входных данных.

Проверьте и запустите

Рассчитать предварительный результат показывает геометрию пластины 300 mm и оценки выхода годных. Запустить моделирование от проекта к пластине запускает моделирование эталонной фабрики. Если проект подключён, используйте проект, указанный в Исходный проект, для запуска и сохранения дизайна.

В проекте Cloud с поддержкой этой возможности GDS-просмотрщик Digital Design Studio также предлагает Отправить в vFactory для структуры с построенной проекцией. Эта передача открывает дизайн, чтобы вы могли проверить его маршрут и объёмы партий перед выбором Запустить моделирование от проекта к пластине.

Работа с vFactory: исследуйте фабрику и проследите путь от проекта до пластины

Эталонная фабрика использует синтетические допущения о процессе. Результаты являются оценками модели.