설계 소스 가져오기

패키지 가져오기

제품 메뉴에서 vFactory → 웨이퍼 공정 및 팹 항목을 선택한 다음 설계에서 웨이퍼로 항목을 선택하세요. 이 가져오기 절차는 Cloud와 Windows 2.1.2.3에 적용됩니다.

1. DDS / 테이프아웃 소스 가져오기 버튼을 선택하고 1 MiB 이하의 JSON 파일을 선택하세요.

2. 소스 패키지를 가져왔습니다. 메시지가 표시될 때까지 기다리세요.

3. 소스 프로젝트, GDS 경로, 구조, GDS 경계 상자에서 얻은 다이 치수, 소스 SHA-256 항목을 확인하세요.

4. 미리 보기 계산 또는 설계에서 웨이퍼로 실행 버튼을 선택하기 전에 형상, 수율, 환경 및 로트 입력을 확인하세요.

JSON 준비하기

완전한 DesignToWaferInput 객체 또는 최상위 키가 source 하나뿐인 소스 전용 패키지를 사용하세요. source 객체에는 projectId, gdsPath, inputSha256, structure, boundsM이 들어갑니다. boundsM은 미터 단위의 [minX, minY, maxX, maxY] 배열입니다. 경로는 .gds 또는 .gdsii 확장자를 사용하고, SHA-256 값은 소문자 16진수 64자로 입력하세요.

완전한 입력에는 scribeUm, edgeExclusionMm, d0PerCm2, alpha, lotCount, wafersPerLot, releaseIntervalS, environment도 들어갑니다. environment 객체에는 isoClass, particleDiameterUm, downflowMPerS, settlingMPerS, exposureS, depositionFraction, killerFraction이 들어갑니다. 수치는 JSON 숫자로 입력하세요. 소스 전용 패키지는 작업 화면의 기본값으로 시작하며, 완전한 패키지는 자체 가정값을 제공합니다.

Cloud에서는 boundsM으로 구한 다이의 가로와 세로가 각각 1.5~20 mm여야 합니다. Cloud는 선택 항목인 routeId의 값으로 logic-a와 logic-b도 받습니다. Windows 2.1.2.3에서는 위의 소스 및 입력 필드를 사용해 패키지를 준비하세요.

확인하고 실행하기

미리 보기 계산 버튼은 300 mm 웨이퍼 형상과 수율 추정값을 표시합니다. 설계에서 웨이퍼로 실행 버튼은 참조 팹 시뮬레이션을 시작합니다. 프로젝트가 연결되어 있다면 소스 프로젝트 항목에 표시된 프로젝트에서 설계를 실행하고 저장하세요.

기능이 지원되는 Cloud 프로젝트에서는 Digital Design Studio의 GDS 뷰어에 투영된 구조를 위한 vFactory로 보내기 버튼도 표시됩니다. 이 전달 기능으로 설계가 열리면 경로와 로트 수량을 확인한 뒤 설계에서 웨이퍼로 실행 버튼을 선택하세요.

vFactory 사용 안내: 팹 둘러보기와 설계에서 웨이퍼까지

참조 팹은 합성된 공정 가정값을 사용합니다. 결과는 모델 추정값입니다.