Calculer votre premier bilan EUV dans vFactory

Vérifiez les entrées de source et de balayage, calculez un bilan EUV et lisez les résultats optiques et photoniques.

La calculatrice EUV s’exécute localement dans vFactory sur Cloud ou dans l’application Windows. Avant de commencer, ouvrez vFactory à l’aide du guide ci-dessous.

Ouvrir l’usine de référence dans vFactory

Vérifier les entrées

  1. Sélectionnez l’onglet Calcul EUV.

  2. Pour un premier calcul, conservez le préréglage initial de la source et les valeurs d’entrée.

  3. Vérifiez Hypothèses de dose et de balayage et Hypothèses sur les photons. Sur Cloud, développez Sources et hypothèses pour vérifier la source ou l’hypothèse de chaque entrée. Sur Windows, vérifiez l’étiquette à côté de la plage de chaque entrée.

Calcul EUV avant un calcul : le préréglage de source RIKEN 2026 · Faisceau unique avec les entrées de la source laser et leurs plages, les premières entrées Multicouche Mo/Si + couche de protection Ru, les sections vides Bilan lumineux, Réponse optique planaire et Bilan de photons et bruit, et Sources et hypothèses développé pour indiquer Expérience RIKEN 2026 ou Hypothèse pour chaque entrée.

Le préréglage initial RIKEN 2026 · Faisceau unique. Sources et hypothèses indique si chaque entrée vient de l’expérience RIKEN 2026 ou est une hypothèse.

Calculer le bilan

  1. Choisissez Calculer l’EUV.

  2. Lorsque Calcul EUV terminé. apparaît, consultez Bilan lumineux pour lire la puissance le long du trajet optique et les résultats de dose et de durée.

  3. Consultez Réponse optique planaire pour lire la réflectance selon la longueur d’onde et l’angle. Consultez Bilan de photons et bruit pour lire les nombres de photons et la variance de Poisson idéale.

Calcul EUV après Calculer l’EUV : le message Calcul EUV terminé., les entrées inchangées de RIKEN 2026 · Faisceau unique et Bilan lumineux avec des barres de puissance de la source à la tranche, du Laser d’excitation (40 W) jusqu’à Au niveau de la tranche, et le tableau Bilan lumineux par étape.

Après Calculer l’EUV, Bilan lumineux affiche la puissance à chaque étape du trajet optique, du laser d’excitation à la tranche.

Modifier une entrée

La modification d’une entrée efface le résultat précédent. Saisissez des valeurs dans les plages affichées par les champs, puis choisissez à nouveau Calculer l’EUV.

Les sorties sont des calculs fondés sur les entrées et les hypothèses fournies, et non des mesures du débit du scanner, des spectres ou des données de production.