Créer une recette de procédé sur tranche

Définissez les matériaux, les couches initiales et les étapes de procédé utilisés par un modèle de tranche.

Ouvrir la recette de tranche

Dans le menu des produits, sélectionnez vFactory → Procédé sur tranche et fabrication, puis Modèles de procédé. Dans Modèle, choisissez Procédé de tranche. Ces étapes s’appliquent à Cloud et à Windows 2.1.2.3. L’exemple initial fournit des matériaux, des couches et une séquence de procédé à modifier.

Pour le menu des produits et votre première exécution, consultez le guide du premier procédé accessible ci-dessous.

Définir les matériaux et les couches initiales

  1. Renseignez Nom de la recette. Sous Coefficients des matériaux, définissez l’identifiant de chaque matériau et ses valeurs D₀ (nm²/s) et Eₐ (eV). Sélectionnez Ajouter un matériau pour ajouter un autre matériau.

  2. Sous Couches initiales depuis la surface, choisissez le matériau de chaque couche et renseignez son épaisseur en nm, son nombre de cellules et sa concentration en cm⁻³. La première couche est la couche de surface.

  3. Sélectionnez Ajouter une couche inférieure pour ajouter une couche sous les couches existantes.

Modèles de procédé avec Modèle réglé sur Procédé de tranche et la recette d’exemple Planar layer example. Dans Coefficients des matériaux figurent Matériau 1 substrate (D₀ 10 nm²/s, Eₐ 0 eV) et Matériau 2 film (D₀ 2 nm²/s, Eₐ 0 eV), chacun avec une note indiquant que des couches ou des étapes de procédé l’utilisent, ainsi qu’un bouton Ajouter un matériau. Dans Couches initiales depuis la surface, il y a une couche avec le matériau substrate, une épaisseur de 100 nm, 80 cellules et une concentration de 1000000000000000 cm⁻³, ainsi qu’un bouton Ajouter une couche inférieure.

L’exemple initial comporte deux matériaux et une couche de surface. Modifiez ici les identifiants des matériaux, les coefficients et les valeurs de la couche, ou utilisez Ajouter un matériau et Ajouter une couche inférieure.

La modification de l’identifiant d’un matériau met à jour ses références dans la recette. Un matériau utilisé par une couche ou une étape de procédé est conservé tant que ces références n’ont pas été modifiées.

Ajouter des étapes de procédé

  1. Sous Séquence du procédé, sélectionnez Ajouter un dépôt, Ajouter une gravure, Ajouter une diffusion ou Ajouter une rampe thermique. Les nouvelles étapes apparaissent à la fin de la séquence.

  2. Renseignez Nom de l’étape et Durée (s) pour chaque étape. Pour le dépôt, choisissez le matériau, la vitesse de croissance, les nouvelles cellules et la concentration déposée. Pour la gravure, définissez une vitesse par matériau.

  3. Pour la diffusion, définissez la température et le pas de temps maximal. Pour une rampe thermique, définissez les températures initiale et finale et le pas de temps maximal.

  4. Pour chacune des deux étapes de diffusion, choisissez les conditions aux limites supérieure et inférieure. Choisissez Flux nul ou Concentration fixe ; ce dernier choix affiche aussi un champ de concentration.

  5. Sélectionnez Lancer la simulation pour calculer la recette. Utilisez Enregistrer les entrées pour conserver les entrées actuelles au format JSON.

Séquence du procédé de la recette d’exemple avec trois étapes. 1. dépôt, Deposit doped film : Durée (s) 10, Matériau déposé film, vitesse de croissance 2 nm/s et 16 nouvelles cellules. 2. diffusion, Anneal layers : Durée (s) 30, 1000 K, pas de temps maximal 0.1 s, et Flux nul comme Condition à la limite supérieure et Condition à la limite inférieure. 3. gravure, Selective film etch : Durée (s) 8, vitesse de gravure de substrate 0.1 nm/s et vitesse de gravure de film 1 nm/s. Les boutons Ajouter un dépôt, Ajouter une gravure, Ajouter une diffusion, Ajouter une rampe thermique, Ajouter une implantation ionique et Ajouter un CMP sont également affichés.

Chaque étape possède son propre Nom de l’étape, sa propre Durée (s) et ses propres entrées d’étape. L’étape de diffusion définit aussi Condition à la limite supérieure et Condition à la limite inférieure.

Exécuter votre premier modèle de procédé dans vFactory

Les entrées d’exemple sont des hypothèses synthétiques. Les résultats simulent le modèle fourni et ne sont pas des données de production mesurées.