Comprendre le modèle de structure EUV et les calculs
Distinguez le modèle de structure pédagogique des résultats du bilan optique et lisez les hypothèses de chaque vue.
La vue de structure EUV et la calculatrice de vFactory répondent à des questions différentes. Toutes deux sont disponibles sur Cloud et dans l’application Windows.
Structure EUV et calcul optique
Distinguez le modèle de structure pédagogique des résultats du bilan optique et lisez les hypothèses de chaque vue.
Entrées
- 1. Reconstruction · hypothèses : structure publique, dimensions supposées
- 3. Entrées optiques
Modèle / action
- 2. Reconstruction pédagogique
- 4. Calculer l’EUV
Résultats
- 5. Bilan lumineux
- 6. Réponse optique planaire
- 7. Bilan de photons et bruit
Connexions
- 1. Reconstruction · hypothèses : structure publique, dimensions supposées → 2. Reconstruction pédagogique: →
- 3. Entrées optiques → 4. Calculer l’EUV: →
- 4. Calculer l’EUV → 5. Bilan lumineux: →
- 4. Calculer l’EUV → 6. Réponse optique planaire: →
- 4. Calculer l’EUV → 7. Bilan de photons et bruit: →
Utiliser vFactory : explorer une fab et suivre une conception jusqu’au wafer
Ce que montre le modèle de structure
La vue intérieure dans Usine de référence montre une reconstruction pédagogique d’un scanner. Elle vous aide à suivre le trajet optique et à identifier les composants.
La géométrie du modèle et la disposition des composants s’appuient sur des informations publiques et des hypothèses. Choisissez Références dans la vue intérieure pour lire les documents de référence.
Ce que calcule le bilan optique
Calcul EUV utilise les entrées de source, de multicouche, de dose, de balayage et de photons que vous fournissez. Il calcule la puissance le long du trajet optique, la réponse optique planaire et les nombres de photons avec une variance de Poisson idéale.
La modification d’une entrée efface le résultat précédent. Relancez le calcul pour obtenir un résultat avec les nouvelles entrées.
Lire les hypothèses avec le résultat
Sur Cloud, développez Sources et hypothèses pour vérifier la source ou l’hypothèse de chaque entrée. Sur Windows, vérifiez l’étiquette à côté de la plage de chaque entrée. Conservez les valeurs d’entrée avec toute comparaison que vous faites entre les calculs.
Une vue structurelle explique la disposition du modèle ; un bilan fournit des valeurs calculées pour ses entrées. Lisez chacun avec ses propres hypothèses.
Le modèle de structure est une reconstruction, et les résultats des calculs dépendent des hypothèses fournies ; il ne s’agit pas de mesures d’un scanner ou d’une usine réels.