Mettre en pause et reprendre les étapes DUV
Créez un point de contrôle après chaque étape DUV planaire terminée, mettez en pause à la fin d’une étape et poursuivez à l’étape suivante. Ces étapes s’appliquent à Cloud 2.1.2.10 et Windows 2.1.2.3.
Lancer une exécution par étapes
Dans vFactory, ouvrez Modèles de procédé, puis choisissez Liaison du procédé DUV.
Utilisez un flux planaire avec des étapes de dépôt, de diffusion, de rampe thermique ou de gravure. Ouvrez Autres actions et sélectionnez Exécuter avec des points de contrôle par étape. Un point de contrôle enregistre chaque étape terminée.
Mettre en pause et continuer
Dans Cloud, sélectionnez Mettre en pause après cette étape à côté de la progression de l’exécution. Sous Windows, ouvrez Autres actions et sélectionnez Mettre en pause après cette étape.
Attendez la fin de l’étape en cours. Le point de contrôle conservé identifie l’étape terminée.
Ouvrez Autres actions et sélectionnez Reprendre à l’étape suivante pour poursuivre à la prochaine étape inachevée en utilisant le profil et le temps écoulé conservés.
Conserver un point de contrôle
Pendant une exécution, Annuler le segment DUV arrête l’exécution et conserve les points de contrôle terminés. Autres actions > Enregistrer le fichier de flux DUV inclut le point de contrôle dans le fichier de flux.
Pour reprendre, gardez inchangés les entrées de tranche et d’usine, la correspondance des étapes et les identifiants de tranche, de lot et d’itinéraire. L’application vérifie les empreintes d’entrée et de résultat du point de contrôle ainsi que l’identité du moteur avant de poursuivre.