Paramètres de découpe EUV
Consultez les valeurs par défaut de planification de découpe et les valeurs de requête optique pour l’imagerie EUV locale.
Cette référence s’applique à vFactory dans Cloud 2.1.2.10 et Windows 2.1.2.3.
Zone EUV configure l’imagerie locale d’une géométrie GDS importée. La géométrie et les coupes utilisent des nm sur le masque. Fournissez des paramètres optiques explicites pour l’imagerie locale.
Planification de découpe
Le planificateur arrondit le halo à l’intervalle de trame entier supérieur. Une exécution accepte jusqu’à 64 tuiles.
Champ | Valeur initiale après l’importation |
|---|---|
Couche et type de données | La couche du premier polygone importé. |
X de la zone (nm sur le masque), Y de la zone (nm sur le masque) | Les valeurs X et Y minimales du premier polygone importé. |
Largeur de la zone (nm sur le masque), Hauteur de la zone (nm sur le masque) | L’étendue du premier polygone, bornée à 4–512 nm sur chaque axe. |
Résolution de rastérisation (nm sur le masque) | 4 |
Halo de bord (nm sur le masque) | 32 |
Taille des tuiles (nm sur le masque) | 512 |
Requête optique
Les plages ci-dessous correspondent aux valeurs affichées par les entrées numériques. Les valeurs de défocalisation sont des nombres finis distincts séparés par des virgules.
Champ | Valeur initiale ; valeurs d’entrée |
|---|---|
Longueur d’onde (nm) | 13,5 ; à partir de 0,001 |
Ouverture numérique | 0,33; 0,001–0,55 |
Taux d’obscuration | 0; 0–0,999 |
Source d’éclairage | Classique; Classique, Annulaire, Dipôle, Quadripôle, Source à pixels |
Liste des défocalisations (nm) | 0 ; 1–32 valeurs |
Seuil (Iref = 1) | 0,5 ; à partir de 0,001 |
Largeur de la grille de sortie, Hauteur de la grille de sortie | 64 chacune ; nombres entiers de 2 à 512 |
Paramètres optiques avancés
Données optiques explicites (JSON) contient stack, absorber, chiefRayDeg, polarization, transport et reflectionPlaneNm. L’indice du milieu ambiant est {re: 1, im: 0} ; la polarisation est x ou y ; le transport est ideal-vector-v1 ou euvlitho-vector-v1.
Polynômes de Zernike (JSON) accepte jusqu’à 37 termes avec des indices de Noll distincts de 1 à 37 et coefficientWaves en longueurs d’onde. Points de la source à pixels (JSON) accepte 1–256 points dans la pupille unitaire, avec des poids non négatifs et un total positif.
Paramètres numériques (JSON ; null utilise la valeur du moteur) accepte null, ou refinements de 2 ou 3 avec une method facultative parmi abbe, hopkins et socs. Échantillonnage du masque (JSON ; null utilise la valeur du moteur) accepte null, un échantillonnage continu ou un échantillonnage par pixels avec une largeur et une hauteur entières de 1 à 8192.
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