Exécuter votre premier modèle de procédé dans vFactory

Ouvrez les modèles de procédé, vérifiez les entrées d’exemple, exécutez le modèle et lisez le résultat.

Modèles de procédé s’ouvre sur un procédé sur tranche d’exemple. Vérifiez ses entrées, exécutez-le et lisez le résultat calculé.

Ouvrir les modèles de procédé

  1. Ouvrez le menu des produits et choisissez vFactory, puis Procédé sur tranche et fabrication.

  2. Sélectionnez l’onglet Modèles de procédé.

  3. Dans Modèle, conservez Procédé de tranche. Le formulaire commence avec les entrées de Exemple de couche plane.

Vérifier les entrées

  1. Examinez Coefficients des matériaux, Couches initiales depuis la surface et Séquence du procédé.

  2. La séquence d’exemple comporte trois étapes : Déposer un film dopé, Recuire les couches et Graver sélectivement le film.

  3. Ouvrez Hypothèses et unités du modèle pour lire les unités et la portée du modèle.

L’onglet Modèles de procédé, avec Modèle réglé sur Procédé de tranche. La section Hypothèses et unités du modèle est ouverte, suivie des Coefficients des matériaux pour le substrat et le film, des Couches initiales depuis la surface et du début de Séquence du procédé. Le volet de résultats indique qu’il n’y a pas encore de résultats calculés.

Avant la première exécution, examinez les hypothèses et les unités de l’exemple, les coefficients des matériaux et les couches initiales. Aucun résultat n’est encore affiché.

Exécuter le modèle

  1. Sélectionnez Lancer la simulation (le bouton de lecture) dans la barre d’outils.

  2. Pendant l’exécution du modèle, l’état affiche Calcul du modèle…. Pour arrêter l’exécution, sélectionnez Annuler la simulation.

  3. Lorsque l’état affiche Calcul terminé, le résultat apparaît à côté des entrées, avec Concentration logarithmique et Inspecter l’étape du procédé.

Modèles de procédé après une exécution. La barre d’état affiche Calcul terminé, et Provenance de l’exécution du procédé indique l’exécution comme terminée. La section Résultats calculés affiche l’étape 3. Graver sélectivement le film avec son épaisseur, sa dose et son nombre de cellules, un graphique de la concentration selon la profondeur et le tableau Historique du procédé et conservation.

Après Calcul terminé, le résultat affiche l’étape de procédé sélectionnée, un profil de concentration selon la profondeur et l’historique du procédé. Provenance de l’exécution du procédé indique l’exécution comme terminée.

Si vous modifiez une entrée après une exécution, l’état affiche Entrées modifiées. Sélectionnez de nouveau Lancer la simulation pour mettre le résultat à jour.

Modèles de procédé après une modification d’entrée. Une bannière Entrées modifiées indique que le résultat affiché appartient à une entrée antérieure et que vous devriez exécuter le modèle mis à jour pour l’actualiser. L’étape de diffusion Recuire les couches a maintenant Durée (s) 60, et le résultat antérieur reste à droite.

Le bandeau "Entrées modifiées" indique que le résultat de droite correspond à l’entrée précédente tant que vous ne relancez pas le modèle.

Si l’exécution n’aboutit pas

La simulation n’a pas abouti apparaît avec un message qui explique le problème. Suivez les instructions du message, puis exécutez de nouveau le modèle.

Lancer la simulation n’est pas disponible pendant une exécution ou une opération sur les fichiers du projet.

Lorsque les fichiers du projet sont indisponibles, Lancer la simulation ne peut pas être utilisé. Reconnectez le projet, puis exécutez le modèle.

Si Projet modifié apparaît, suivez son message : Ouvrez un document de procédé de ce projet ou créez-en un.

Enregistrer les entrées et le résultat

  1. Enregistrer les entrées enregistre les entrées actuelles dans un fichier JSON.

  2. Exporter les résultats est disponible après une exécution et enregistre les entrées avec le résultat.

  3. Pour essayer ensuite un modèle d’usine, choisissez Simulation d’usine dans Modèle. Il commence avec les entrées de Exemple d’usine avec parcours réentrants.

Utiliser vFactory : explorer une fab et suivre une conception jusqu’au wafer

Les exemples d’entrée sont des hypothèses synthétiques. Les résultats simulent le modèle fourni et ne sont pas des données de production mesurées.