Calculer un bilan optique et photonique EUV
Comparez les entrées et les résultats du modèle dans le calcul EUV de Cloud 2.1.2.10 ou Windows 2.1.2.3.
Lancer le calcul
Ouvrez Calcul EUV dans vFactory et choisissez un préréglage de source.
Vérifiez Multicouche Mo/Si + couche de protection Ru, Hypothèses de dose et de balayage et Hypothèses sur les photons. Gardez chaque valeur dans la plage affichée.
Sélectionnez Calculer l’EUV.
Les entrées multicouche définissent le modèle de réflectivité. Après un calcul, Réponse optique planaire trace la réflectance de la polarisation s et de la polarisation p en fonction de la longueur d’onde.
Lire les résultats
Bilan lumineux affiche la puissance par étape, la dose, la vitesse de balayage et les tranches par heure.
Réponse optique planaire affiche les réflectances s et p selon la longueur d’onde et l’angle, ainsi que R / T / A à 13.5 nm. Ouvrez Tableau des données de longueur d’onde ou Tableau des données d’angle pour les valeurs exactes.
Bilan de photons et bruit affiche l’énergie des photons, les nombres moyens et la variance de Poisson idéale. Consultez Sources et hypothèses avec les résultats.
Bilan de photons et bruit compare les nombres de photons incidents et absorbés avec leur variance de Poisson idéale à 13.5 nm.
Ces sorties de modèle reposent sur des hypothèses ; elles ne sont ni un débit d’équipement mesuré ni des prévisions pour une usine réelle. Le balayage en longueur d’onde conserve les indices optiques de 13.5 nm ; les statistiques de Poisson idéales ne prédisent ni les défauts de résine ni le rendement.