Explorer l’intérieur du modèle EUV dans vFactory

Ouvrez la vue intérieure d’un scanner EUV, suivez son trajet optique et lisez ses sources.

Utilisez le Laboratoire de structure EUV pour examiner un modèle pédagogique de scanner sur Cloud ou dans l’application Windows. Avant de commencer, ouvrez l’usine de référence à l’aide du guide ci-dessous.

Ouvrir l’usine de référence dans vFactory

Ouvrir la vue intérieure

  1. Sur Cloud, choisissez Carte 3D dans la barre d’outils de la scène de l’usine de référence et sélectionnez un scanner EUV. Sous Windows, choisissez Parcourir, cliquez dans la vue 3D de l’usine pour lui donner le focus et utilisez W/S et A/D pour vous approcher d’un scanner EUV.

  2. Choisissez l’action de vue intérieure du scanner lorsqu’elle apparaît, par exemple Voir l’intérieur · scanner EUV 1 pour le scanner 1.

Lire le modèle

La vue intérieure s’ouvre avec l’enveloppe masquée et l’ensemble du trajet optique visible. Les étiquettes des composants vous aident à suivre le trajet à travers le modèle.

  1. Lisez l’avis sur le modèle dans la vue.

  2. Choisissez Références pour lire les documents de référence.

Vue intérieure du scanner EUV 1 dans le Laboratoire de structure EUV : un modèle de scanner High-NA · 0.55 NA avec l’enveloppe masquée et des trajets optiques EUV violets, les boutons Utilisation et Références, la case Enveloppe décochée et les cases Trajets lumineux et Noms cochées, et un panneau Remarques étiqueté Structure publique · reconstruction conceptuelle.

La vue intérieure du scanner EUV 1 avec les trajets optiques affichés. Le panneau Remarques indique que le modèle est une structure publique et une reconstruction conceptuelle.

Revenir à l’usine

Choisissez Fermer la vue intérieure pour revenir à la scène de l’usine.

La structure EUV est une reconstruction pédagogique fondée sur des informations publiques et des hypothèses, et non sur des données mesurées sur un équipement.