Comprendere anteprima ed esecuzione

Calcolare geometria e resa

In Cloud o Windows 2.1.2.3, aprire vFactory → Processo wafer e fabbricazione → Dal progetto al wafer. Calcola anteprima e Esegui dal progetto al wafer sono azioni separate. Entrambe utilizzano la sorgente del design e i valori mostrati nel modulo.

Importare una sorgente con Importa sorgente DDS / di rilascio alla fabbricazione. In Cloud, un progetto che supporta questa funzione può anche offrire Invia a vFactory nel visualizzatore GDS dopo la proiezione di una struttura. Questa azione apre il design in Dal progetto al wafer, dove si scelgono il percorso e le quantità dei lotti prima dell’esecuzione.

Selezionare Calcola anteprima per visualizzare la mappa del wafer da 300 mm e Stima della geometria e della resa. L’anteprima calcola il numero di die, il contributo dell’ambiente alla densità dei difetti e le probabilità di resa a partire dalle ipotesi fornite. La mappa mostra la geometria dei rettangoli dei die.

Eseguire la simulazione dei lotti

Selezionare Esegui dal progetto al wafer per eseguire la simulazione dei lotti della fab di riferimento. In Cloud, scegliere prima Percorso della fabbrica di riferimento, Numero di lotti e Wafer per lotto. In Windows 2.1.2.3, impostare le quantità dei lotti nel modulo prima dell’esecuzione.

Un’esecuzione completata aggiunge Completamento e consegna dei lotti, con lo stato e i tempi di ogni lotto, Wafer completati, il numero previsto di die funzionanti e Consegna complessiva. La simulazione viene eseguita localmente nell’applicazione, anche quando si utilizza Cloud.

Le durate importate delle fasi di backend contribuiscono al tempo di consegna.

Leggere il riepilogo o seguire un lotto

Un progetto sorgente collegato con file di processo disponibili salva il risultato completato. Salvato nel progetto: mostra il percorso confermato. Apri risultato salvato ripristina in seguito gli input e il riepilogo salvati.

Dopo una nuova esecuzione, Segui il lotto {lot} nella fabbrica 3D apre gli eventi conservati per quella esecuzione. Utilizzare il riepilogo salvato per verificare i risultati e la riproduzione dell’esecuzione corrente per seguire un lotto attraverso la fab.

Usare vFactory: esplorare una fabbrica e seguire un progetto fino al wafer

Aprire la fabbrica di riferimento in vFactory

Eseguire il primo modello di processo in vFactory

La fab di riferimento utilizza ipotesi di processo sintetiche. I risultati sono stime del modello.