Dati di ingresso di «Dal progetto al wafer»
Consulti i campi del pacchetto sorgente, gli intervalli degli ingressi numerici e i valori JSON del backend.
Questa guida di riferimento si applica a vFactory in Cloud 2.1.2.10 e Windows 2.1.2.3.
Utilizzi questi valori in Dal progetto al wafer. Gli ingressi numerici usano numeri finiti; i conteggi di lotti e wafer usano numeri interi.
Pacchetto sorgente
Importa sorgente DDS / di rilascio alla fabbricazione accetta un file JSON fino a 1 MiB (1048576 byte): un DesignToWaferInput serializzato o {source: DesignSource}. Un pacchetto contenente solo la sorgente usa le ipotesi predefinite. L’ingresso convalidato rientra in 32768 byte di JSON canonico.
DesignSource contiene projectId, gdsPath, inputSha256, structure e boundsM. Utilizzi un percorso host .gds o .gdsii, un codice esadecimale di 64 caratteri in minuscolo per SHA-256 e i limiti [minX, minY, maxX, maxY] in metri con larghezza e altezza positive. La geometria usa una griglia a nanometri interi.
In Cloud, ogni lato del die è accettato da 1,5 a 20 mm e Percorso della fabbrica di riferimento offre logic-a e logic-b, con logic-a selezionato per impostazione predefinita. Windows usa logic-a.
Valori numerici
L’istante di rilascio dell’ultimo lotto, (lot count − 1) × release interval, è accettato fino a 31536000 secondi. La geometria e i valori derivati vengono convalidati durante il calcolo dell’anteprima e l’esecuzione.
Ingresso | Valori accettati |
|---|---|
Larghezza di taglio (µm) | 0–10000 |
Esclusione del bordo (mm) | 0 ≤ valore < 150 |
D0 utente (difetti/cm²) · Ipotesi | 0–1000000 |
Coefficiente di raggruppamento α | 0 < valore ≤ 1000000 |
Numero di lotti | 1–50 |
Wafer per lotto | 1–1000 |
Intervallo di rilascio (s) | 0–31536000 |
Classe ISO · Ipotesi | 1–9, inclusi valori frazionari |
Soglia D (µm) | 0,1–5 |
Flusso discendente (m/s), Velocità di sedimentazione (m/s), Esposizione (s) | 0–9007199254740991 |
Frazione di deposito (0–1), Frazione di difetti critici (0–1) | 0–1 |
JSON del backend
Importa JSON delle fasi finali accetta lo schema altifigence.vfactory-backend/v1, un name e steps. Fornisca 1–32 fasi con nomi univoci, ciascuna con name e durationS. Ogni durata e la loro somma sono accettate da 0 a 31536000 secondi. I nomi del modello e delle fasi usano 1–256 caratteri, senza spazi iniziali o finali e senza caratteri di controllo ASCII.
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