Eseguire e salvare un processo DUV collegato
Collega le fasi del wafer alle apparecchiature della fabbrica, esegui il segmento DUV e salva il flusso localmente o nel progetto selezionato. Questi passaggi si applicano a Cloud 2.1.2.10 e Windows 2.1.2.3.
Aprire l'ambiente di lavoro DUV
In vFactory, seleziona Modelli di processo, quindi scegli Collegamento del processo DUV.
Su Cloud, espandi Modifica gli input del modello associati in un modulo per modificare la ricetta del wafer e i dati di ingresso delle apparecchiature della fabbrica. Su Windows, espandi la prima sezione Parametri avanzati per accedere a questi moduli.
Per modificare il JSON su Cloud, espandi Modifica gli input del modello associati come JSON. Su Windows, espandi la sezione Parametri avanzati inferiore contenente Dati di input del modello. Modifica il JSON e seleziona Applica dati del modello. I campi modificabili sono wafer, fab, mapping, waferId, lotId e routeId.
Eseguire ed esaminare il segmento
Seleziona Esegui segmento DUV per calcolare i modelli di wafer e fabbrica. Durante l'esecuzione, seleziona Annulla segmento DUV per interrompere.
Quando appare Calcolo completato, seleziona una fase in DUV stage mapping per esaminarne le apparecchiature, la pianificazione e il profilo calcolato nella scena in scala della fabbrica.
Espandi Provenienza dell'esecuzione del processo per esaminare la fase selezionata e le identità dei motori di wafer e fabbrica.
Salvare e aprire file locali
Apri Altre azioni > Salva file del flusso DUV. Sia su Cloud sia su Windows, questa operazione avvia un download denominato duv-flow.alcad-duv-fab.json.
Scegli Altre azioni > Apri file del flusso DUV e seleziona un flusso JSON salvato. Se il flusso attuale presenta modifiche senza un salvataggio del file confermato, scegli Replace DUV flow o Keep current DUV flow.
Per collegare una scena in scala, scegli Altre azioni > Collega file di scena in scala e seleziona il relativo file JSON della scena.
Salvare e aprire file di progetto
Usa il progetto selezionato con una sessione file attiva e l'autorizzazione a salvarne i file. Su Cloud, arresta il runtime del progetto prima di salvare. Le operazioni di progetto controllano il progetto, la sessione e la revisione della sorgente.
Seleziona Salva flusso DUV come file di progetto, inserisci un nuovo Nome del file del documento del progetto, ad esempio duv-flow.alcad-fab-scene.json, e seleziona Salva documento del progetto.
Seleziona Apri flusso DUV dal progetto, scegli un Documento del progetto e seleziona Apri documento del progetto. Se una bozza presenta modifiche non salvate, prima di aprire seleziona Sostituisci la bozza non salvata corrente con questo file.
Dopo aver aperto o salvato un file di progetto, seleziona Salva flusso DUV nel progetto per aggiornare quel file. Per un nuovo flusso, questo controllo apre la finestra di dialogo del nome del file. Usa Salva flusso DUV come file di progetto con un nome di file diverso per creare un altro file.
Attendi la conferma del salvataggio. L'applicazione controlla la versione del file esistente prima di sostituirlo e rilegge il contenuto salvato per verificarlo.