プレビューと実行を理解する

形状と歩留まりを計算する

Cloud または Windows 2.1.2.3 で vFactory → ウェーハ工程・ファブ → 設計からウェーハへ を開きます。プレビューを計算 と 設計からウェーハへのシミュレーションを実行 は別の操作です。どちらも設計ソースとフォームに表示された値を使用します。

DDS／テープアウトのソースをインポート でソースをインポートします。Cloud では、対応するプロジェクトでストラクチャを投影すると、GDS ビューアーにも vFactory に送信 が表示される場合があります。この操作で設計が 設計からウェーハへ に開き、実行前にルートとロット数量を選べます。

プレビューを計算 を選択して 300 mm ウェーハのマップと 形状と歩留まりの推定 を表示します。プレビューは、指定した仮定値からダイ数、欠陥密度に対する環境の寄与、歩留まり確率を計算します。マップはダイの長方形の形状を示します。

ロットのシミュレーションを実行する

参照ファブのロットシミュレーションを実行するには 設計からウェーハへのシミュレーションを実行 を選択します。Cloud では、先に 参照ファブのルート、ロット数、ロット当たりのウェーハ数 を選びます。Windows 2.1.2.3 では、実行前にフォームでロット数量を設定します。

実行が完了すると ロット完了と納期 が追加され、各ロットの状態と時刻、完了ウェーハ数、期待良品ダイ数、全体の納期 が表示されます。Cloud を使用する場合も、シミュレーションはアプリケーション内でローカルに実行されます。

インポートした後工程のステップ時間は、納期に反映されます。

概要を読むかロットを追従する

接続中のソースプロジェクトで工程ファイルを利用できる場合、完了した結果が保存されます。プロジェクトに保存済み： に確認済みのパスが表示されます。後で 保存済みの結果を開く を使用すると、保存した入力と概要が復元されます。

新しい実行の後、3D ファブでロット {lot} を追従 でその実行のために保持されたイベントを開けます。結果の確認には保存された概要を、ファブ内のロットの追従には現在の実行の再生を使用します。

vFactory の使い方：ファブを見学し、設計からウェーハまでをたどる

vFactory で参照ファブを開く

vFactory で最初の工程モデルを実行する

参照ファブは合成された工程の仮定値を使用します。結果はモデルによる推定値です。