Valori predefiniti della scena

Consulti i valori iniziali di wafer, camminata e ambiente, le relative unità e gli intervalli accettati.

Questa guida di riferimento si applica a vFactory in Cloud 2.1.2.10 e Windows 2.1.2.3.

Le nuove scene iniziano con questi valori di wafer, camminata e ambiente. Apra Impostazioni fab per modificarli.

Valori di wafer e camminata

I campi del wafer si trovano in Pavimento e wafer. I campi della camminata si trovano in Cammina.

Campo

Valore predefinito; intervallo accettato

Diametro del wafer

300 mm; 25–450 mm

Spessore del wafer

0,775 mm; 0,1–2 mm

Altezza del wafer alla porta di caricamento

900 mm; 0–3000 mm

Altezza dello sguardo

1,6 m; 1–2,2 m

Raggio del corpo

300 mm; 150–600 mm

Velocità di cammino

1,4 m/s; 0,2–5 m/s

Velocità di rotazione

90 °/s; 15–360 °/s

Valori dell’ambiente

Apra Ambiente per visualizzare i valori registrati dell’ambiente della scena.

Campo

Valore predefinito; intervallo accettato

Temperatura ambiente

21 °C; 15–30 °C

Umidità relativa

45 %RH; 20–70 %RH

Pulizia delle particelle nell’aria (polvere)

ISO 14644-1 classe 5; classi 1–9, numeri interi

Velocità dell’aria discendente

0,4 m/s; 0–1 m/s

Differenza di pressione della stanza

15 Pa; 0–50 Pa

Coordinate e unità memorizzate

Le lunghezze memorizzate usano millimetri e gli angoli usano gradi. L’origine è l’angolo sud-occidentale del pavimento: X punta a est, Y a nord e Z verso l’alto dal pavimento.

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