Valori predefiniti della scena
Consulti i valori iniziali di wafer, camminata e ambiente, le relative unità e gli intervalli accettati.
Questa guida di riferimento si applica a vFactory in Cloud 2.1.2.10 e Windows 2.1.2.3.
Le nuove scene iniziano con questi valori di wafer, camminata e ambiente. Apra Impostazioni fab per modificarli.
Valori di wafer e camminata
I campi del wafer si trovano in Pavimento e wafer. I campi della camminata si trovano in Cammina.
Campo | Valore predefinito; intervallo accettato |
|---|---|
Diametro del wafer | 300 mm; 25–450 mm |
Spessore del wafer | 0,775 mm; 0,1–2 mm |
Altezza del wafer alla porta di caricamento | 900 mm; 0–3000 mm |
Altezza dello sguardo | 1,6 m; 1–2,2 m |
Raggio del corpo | 300 mm; 150–600 mm |
Velocità di cammino | 1,4 m/s; 0,2–5 m/s |
Velocità di rotazione | 90 °/s; 15–360 °/s |
Valori dell’ambiente
Apra Ambiente per visualizzare i valori registrati dell’ambiente della scena.
Campo | Valore predefinito; intervallo accettato |
|---|---|
Temperatura ambiente | 21 °C; 15–30 °C |
Umidità relativa | 45 %RH; 20–70 %RH |
Pulizia delle particelle nell’aria (polvere) | ISO 14644-1 classe 5; classi 1–9, numeri interi |
Velocità dell’aria discendente | 0,4 m/s; 0–1 m/s |
Differenza di pressione della stanza | 15 Pa; 0–50 Pa |
Coordinate e unità memorizzate
Le lunghezze memorizzate usano millimetri e gli angoli usano gradi. L’origine è l’angolo sud-occidentale del pavimento: X punta a est, Y a nord e Z verso l’alto dal pavimento.
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