Calcolare il primo bilancio EUV in vFactory

Controlla i dati della sorgente e della scansione, calcola un bilancio EUV e leggi i risultati ottici e fotonici.

Il calcolatore EUV viene eseguito localmente in vFactory su Cloud o nell’app Windows. Prima di iniziare, apri vFactory seguendo la guida qui sotto.

Aprire la fabbrica di riferimento in vFactory

Controllare i dati di ingresso

  1. Seleziona la scheda Calcolo EUV.

  2. Per il primo calcolo, mantieni la preimpostazione della sorgente e i valori di ingresso iniziali.

  3. Controlla Ipotesi di dose e scansione e Ipotesi sui fotoni. Su Cloud, espandi Fonti e ipotesi per verificare la fonte o l’ipotesi di ciascun dato di ingresso. Su Windows, controlla l’etichetta accanto all’intervallo di ciascun dato di ingresso.

Calcolo EUV prima di un calcolo: la preimpostazione della sorgente RIKEN 2026 · Fascio singolo con gli ingressi della sorgente laser e i relativi intervalli, i primi ingressi Multistrato Mo/Si + strato protettivo Ru, le sezioni vuote Bilancio luminoso, Risposta ottica planare e Bilancio dei fotoni e rumore, e Fonti e ipotesi espanso per elencare Esperimento RIKEN 2026 o Ipotesi per ciascun ingresso.

La preimpostazione iniziale RIKEN 2026 · Fascio singolo. Fonti e ipotesi mostra se ciascun ingresso proviene dall'esperimento RIKEN 2026 oppure è un'ipotesi.

Calcolare il bilancio

  1. Scegli Calcola EUV.

  2. Quando compare Calcolo EUV completato., leggi Bilancio luminoso per la potenza lungo il percorso ottico e i risultati relativi a dose e tempi.

  3. Leggi Risposta ottica planare per la riflettanza in funzione di lunghezza d’onda e angolo. Leggi Bilancio dei fotoni e rumore per i conteggi dei fotoni e la varianza di Poisson ideale.

Calcolo EUV dopo Calcola EUV: il messaggio Calcolo EUV completato., gli ingressi invariati di RIKEN 2026 · Fascio singolo e Bilancio luminoso con barre di potenza dalla sorgente al wafer, dal Laser di eccitazione (40 W) fino a Sul wafer, e la tabella Bilancio luminoso per fase.

Dopo Calcola EUV, Bilancio luminoso mostra la potenza in ogni fase del percorso ottico, dal laser di eccitazione al wafer.

Modificare un dato di ingresso

La modifica di un dato di ingresso cancella il risultato precedente. Inserisci valori negli intervalli mostrati dai campi, poi scegli di nuovo Calcola EUV.

I risultati sono calcoli basati sui dati di ingresso e sulle ipotesi forniti, non misure della produttività dello scanner, spettri misurati o dati di produzione misurati.