Esaminare l’interno del modello EUV in vFactory

Apri la vista interna di uno scanner EUV, segui il percorso ottico e leggi le fonti.

Usa il Laboratorio della struttura EUV per esaminare un modello didattico di scanner su Cloud o nell’app Windows. Prima di iniziare, apri la fabbrica di riferimento seguendo la guida qui sotto.

Aprire la fabbrica di riferimento in vFactory

Aprire la vista interna

  1. Su Cloud, scegli Mappa 3D nella barra degli strumenti della scena della fabbrica di riferimento e seleziona uno scanner EUV. In Windows, scegli Cammina, fai clic nella vista 3D della fabbrica per renderla attiva e usa W/S e A/D per avvicinarti a uno scanner EUV.

  2. Quando compare l’azione per la vista interna dello scanner, selezionala, ad esempio Guarda dentro · scanner EUV 1 per lo scanner 1.

Comprendere il modello

La vista interna si apre con l’involucro nascosto e l’intero percorso ottico visibile. Le etichette dei componenti aiutano a seguire il percorso nel modello.

  1. Leggi l’avviso sul modello nella vista.

  2. Scegli Fonti per leggere il materiale di riferimento.

Vista interna dello scanner EUV 1 nel Laboratorio della struttura EUV: un modello di scanner High-NA · 0.55 NA con l'involucro nascosto e percorsi ottici EUV viola, i pulsanti Come usare e Fonti, la casella Involucro deselezionata e le caselle Percorsi luminosi e Nomi selezionate, e un pannello Note con etichetta Struttura pubblica · ricostruzione concettuale.

La vista interna dello scanner EUV 1 con i percorsi ottici visibili. Il pannello Note indica il modello come struttura pubblica e ricostruzione concettuale.

Tornare alla fabbrica

Scegli Chiudi vista interna per tornare alla scena della fabbrica.

La struttura EUV è una ricostruzione didattica basata su informazioni pubbliche e ipotesi, non su dati misurati delle apparecchiature.