Mettere in pausa e riprendere le fasi DUV
Crea un punto di controllo dopo ogni fase DUV planare completata, metti in pausa al termine di una fase e continua dalla fase successiva. Questi passaggi si applicano a Cloud 2.1.2.10 e Windows 2.1.2.3.
Avviare un'esecuzione per fasi
In vFactory, apri Modelli di processo, quindi scegli Collegamento del processo DUV.
Usa un flusso planare con fasi di deposizione, diffusione, rampa termica o incisione. Apri Altre azioni e seleziona Esegui con punti di controllo per fase. Un punto di controllo registra ogni fase completata.
Mettere in pausa e continuare
Su Cloud, seleziona Metti in pausa dopo questa fase accanto all'avanzamento dell'esecuzione. Su Windows, apri Altre azioni e seleziona Metti in pausa dopo questa fase.
Attendi che la fase attuale termini. Il punto di controllo conservato identifica la fase completata.
Apri Altre azioni e seleziona Riprendi la fase successiva per continuare dalla successiva fase non completata usando il profilo e il tempo trascorso conservati.
Conservare un punto di controllo
Durante un'esecuzione, Annulla segmento DUV interrompe l'esecuzione e conserva i punti di controllo completati. Altre azioni > Salva file del flusso DUV include il punto di controllo nel file del flusso.
Per riprendere, mantieni invariati i dati di ingresso di wafer e fabbrica, la mappatura delle fasi e gli identificatori di wafer, lotto e percorso. L'applicazione controlla gli hash di input e risultato del punto di controllo e l'identità del motore prima di continuare.