Calcolare un bilancio ottico e dei fotoni EUV
Confronta gli input e i risultati del modello nel calcolo EUV di Cloud 2.1.2.10 o Windows 2.1.2.3.
Eseguire il calcolo
Apri Calcolo EUV in vFactory e scegli una preimpostazione della sorgente.
Verifica Multistrato Mo/Si + strato protettivo Ru, Ipotesi di dose e scansione e Ipotesi sui fotoni. Mantieni ogni valore nell’intervallo visualizzato.
Seleziona Calcola EUV.
Gli ingressi del multistrato definiscono il modello di riflettività. Dopo un calcolo, Risposta ottica planare traccia la riflettanza della polarizzazione s e della polarizzazione p in funzione della lunghezza d'onda.
Leggere i risultati
Bilancio luminoso mostra la potenza per fase, la dose, la velocità di scansione e i wafer all’ora.
Risposta ottica planare mostra la riflettanza s e p in funzione di lunghezza d’onda e angolo, e R / T / A a 13.5 nm. Apri Tabella dei dati di lunghezza d’onda o Tabella dei dati angolari per i valori esatti.
Bilancio dei fotoni e rumore mostra l’energia dei fotoni, i conteggi medi e la varianza di Poisson ideale. Consulta Fonti e ipotesi insieme ai risultati.
Bilancio dei fotoni e rumore confronta i conteggi dei fotoni incidenti e assorbiti con la loro varianza di Poisson ideale a 13.5 nm.
Sono risultati di un modello basato su ipotesi, non produttività misurata delle apparecchiature o previsioni per una fabbrica reale. La scansione in lunghezza d’onda mantiene fissi gli indici ottici a 13.5 nm; le statistiche di Poisson ideali non prevedono difetti del resist o resa.